[实用新型]一种直拉单晶分瓣式石墨加热器

说明书

本实用新型提供一种直拉单晶分瓣式石墨加热器，包括石墨加热器本体，所述石墨加热器本体的表面设置有固定机构，所述固定机构正面的中心处固定连接有固定箱。本实用新型通过固定机构和紧固机构的配合，使用者通过螺栓将第一卡箍和第二卡箍进行固定限位，从而便于使用者对石墨加热器本体进行固定，增加了石墨加热器本体的稳定性，随后使用者旋转旋柄，从而带动螺纹杆进行旋转，此时第二螺纹套带动固定板在螺纹杆的表面进行移动，从而带到压块进行移动，继而对石墨加热器本体的连接处进行挤压限位，增加了石墨加热器本体的固定效果，继而增强了石墨加热器本体的稳定性，解决了传统直拉单晶分瓣式石墨加热器稳定效果差的问题。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉领域，尤其涉及一种直拉单晶分瓣式石墨加热器。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备，单晶炉型号有两种命名方式，一种为投料量，一种为炉室直径，比如85炉，是指主炉筒的直径大小，120、150等型号是由装料量来决定的。

单晶炉在加工过程中需要用到瓣式石墨加热器，然而传统直拉单晶分瓣式石墨加热器的稳定效果差，从而导致直拉单晶分瓣式石墨加热器在使用过程中容易发生偏移，会造成直拉单晶分瓣式石墨加热器对坩埚的加热效果差，从而影响晶体的质量，同时会对使用者带来安全隐患。

因此，有必要提供一种直拉单晶分瓣式石墨加热器解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种直拉单晶分瓣式石墨加热器，解决了传统直拉单晶分瓣式石墨加热器稳定效果差的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的一种直拉单晶分瓣式石墨加热器，包括石墨加热器本体，所述石墨加热器本体的表面设置有固定机构，所述固定机构正面的中心处固定连接有固定箱，所述固定机构包括第一卡箍、螺栓和第二卡箍，所述石墨加热器本体表面中心处的正面和背面均活动连接有第一卡箍和第二卡箍，所述第一卡箍两侧的中心处均开设有通孔，且通孔的内腔活动连接有螺栓，所述螺栓的背面贯穿第二卡箍正面的两侧并螺纹连接有螺母，所述第一卡箍正面的中心处与固定箱的背面固定连接，所述固定箱的内腔设置有紧固机构，所述紧固机构包括旋柄、第一螺纹套、螺纹杆、第二螺纹套、安装板、固定板和压块，所述固定箱内腔正面左侧的中心处嵌设有第一螺纹套，所述第一螺纹套的内腔螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的正面固定连接有旋柄，所述固定箱内腔左侧的背面固定连接有安装板，所述安装板正面的中心处嵌设有轴承，且轴承的内圈与螺纹杆的背面转动连接，所述螺纹杆的表面螺纹连接有第二螺纹套，所述第二螺纹套的右侧固定连接有固定板，所述固定板的背面固定连接有压块，所述第一卡箍正面的中心处开设有通槽，所述压块的背面贯穿至通槽的内腔。

优选的，所述固定箱内腔的右侧开设有滑槽，所述滑槽的内腔滑动连接有滑块，所述滑块的左侧贯穿滑槽的内腔并与固定板的右侧固定连接。

优选的，所述石墨加热器本体的表面喷涂有防腐层，所述防腐层的材质为三聚乙烯防腐涂料。

优选的，所述石墨加热器本体顶部的两侧均固定连接有固定块，所述固定块的顶部固定连接有安装块，所述安装块顶部的中心处开设有安装孔。

优选的，所述压块的背面开设有半圆形凹槽，且半圆形凹槽与石墨加热器本体正面的弯曲处契合。

与相关技术相比较，本实用新型提供的一种直拉单晶分瓣式石墨加热器具有如下有益效果：

本实用新型提供一种直拉单晶分瓣式石墨加热器，