[实用新型]一种光学玻璃亚表面损伤观测的截面抛光装置

说明书

一种光学玻璃亚表面损伤观测的截面抛光装置，包括含矩形槽的加载盘和用于粘结试样的抛光陪片，与试样粘结后的抛光陪片通过内六角圆柱螺钉固定在加载盘的矩形槽侧壁。加载盘底面的矩形槽垂直于加载盘表面，均匀分布于加载盘底面，外圆面上设有与矩形槽数量相同的带沉头螺纹孔，螺纹孔贯穿至矩形槽。抛光陪片的尺寸与试样相同，材料为硅片或与试样相同。本实用新型可保证抛光截面与试样加工表面垂直，抛光完成后，可快速拆卸抛光陪片，方便分离试样，保证检测结果的可靠性，提高检测效率。

技术领域

本实用新型属于光学材料亚表面损伤观测的专用夹具，具体涉及一种光学玻璃亚表面损伤观测的截面抛光装置。

背景技术

光学玻璃(熔融石英和K9玻璃)广泛用于制备精密光学系统和高激光通量系统中的关键光学元件。光学玻璃的精密加工(磨削和研磨)过程会在材料表层残留不同程度的损伤(划痕、凹坑和裂纹等)。研究表明，亚表面损伤会显著降低光学元件的激光损伤阈值，进而削弱光学系统的寿命和稳定性。

由于亚表面损伤主要来自于磨削和研磨加工中磨粒与试样表面的复杂压入和划入作用产生的机械损伤。为研究亚表面损伤产生机理、表征方法和影响规律，进而优化超精密加工工艺，需要对亚表面损伤形貌进行观测和分析。

截面显微法常用于检测光学玻璃亚表面损伤形貌。根据测量步骤的不同，截面显微法可分为“粘结-加工-分离-观测”和“加工-剖面-抛光-观测”两种检测类型。前者由于试样处于非整体的加工方式，粘结面的材料变形难以反映真实的加工应力状态，以致截面裂纹难以表征真实损伤形貌；后者采用先加工后剖面观测的方式，截面裂纹为真实加工损伤。然而，截面抛光过程中须保证抛光面平整且与加工表面垂直，因此，有必要开发一种满足上述截面抛光要求且试样拆卸方便的截面抛光装置。

发明内容

为满足截面显微法观测亚表面损伤的要求，本实用新型提供了一种光学玻璃亚表面损伤观测的截面抛光装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种光学玻璃亚表面损伤观测的截面抛光装置，包括含矩形槽的加载盘和用于粘结试样的抛光陪片，与试样粘结后的抛光陪片通过螺钉固定在加载盘的矩形槽侧壁。

所述矩形槽垂直于加载盘表面，均匀分布于加载盘底面。

所述加载盘外圆面上设有与矩形槽数量相同的带沉头螺纹孔，螺纹孔贯穿至矩形槽。

所述抛光陪片的尺寸与试样相同，材料为硅片或与试样相同。

本实用新型的有益效果是，保证抛光截面与试样加工表面垂直，试样抛光完成后，可快速拆卸抛光陪片，方便分离试样，保证检测结果的可靠性，提高检测效率。

附图说明

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步描述：

图1为本实用新型所述的光学玻璃亚表面损伤观测的截面抛光装置的结构示意图；

其中：1、加载盘；2、抛光陪片；3、试样；4、内六角圆柱螺钉。

具体实施方式

以下结合具体实施例对上述方案做进一步说明。

实施例：本实施例描述了一种光学玻璃亚表面损伤观测的截面抛光装置，如图1所示，包括含矩形槽的加载盘1和用于粘结试样的抛光陪片2。矩形槽的深度小于试样高度，宽度大于试样鱼抛光陪片粘结后的宽度，长度大于试样长度。矩形槽垂直于加载盘1表面，并均匀分布于加载盘底面。加载盘1圆周表面上设有与矩形槽数量相同的带沉头螺纹孔，螺纹孔贯穿至矩形槽。抛光陪片2尺寸与试样3相同，材料通常选用硅片或与试样相同。抛光陪片2与试样3粘结后通过内六角圆柱螺钉4固定在加载盘的矩形槽内表面。粘结剂通常选用石蜡。

抛光前，使用石蜡将试样3与抛光陪片2粘结，粘结过程保证两者截面处于同一平面，粘结后将试样垂直放入加载盘1的矩形槽，并使用内六角圆柱螺钉4将试样紧贴矩形槽侧壁固定，保证抛光表面与加工表面的垂直；抛光后，拆卸内六角圆柱螺钉4，取出粘结试样的抛光陪片2，融化石蜡后取下试样，用于试样亚表面损伤观测。