[实用新型]一种具有通道测试功能的探针卡

说明书

本实用新型提供一种具有通道测试功能的探针卡，包括电路板、至少两个探针、至少两个电路通道，转换电路、控制模块和至少两个测试元件；测试机通过控制模块向开关控制器件传输选择信号，以选择连通的开关器件，进而实现：控制所有开关器件B连通时，所述具有自测功能的探针卡能作为常规的探针卡使用，用于晶圆芯片测试；控制任意两个开关器件A连通时，能利用测试元件对这两个开关器件A所连接的电路通道进行测试。

技术领域

本实用新型是关于半导体集成电路测试及其装置领域，特别涉及一种具有通道测试功能的探针卡。

背景技术

在半导体集成电路行业中，在测试机上进行晶圆级的可靠性测试时通常会使用到探针卡（probecard）来进行辅助测试，现有的探针卡（probecard）是将探针（probe）的一端固定在电路板（PCB）上，然后再通过电路板与测试机台连接，探针（probe）的另一端则与晶圆上的每一块测试单元（DUT：deviceundertest）的探点接触，从而形成一个完整的测试系统。探针卡的作用是通过扎针焊垫，从而使测试机台和被测试结构实现连通。

现有的探针卡除了测试晶圆为主要用途以外，在测试机生产领域还有一重要的用途，是通过对晶圆测试数据进行反复的对比，来验证我们新搭建的测试机台的精度及稳定性。在测试机的生产中，在测试机出厂前，需要进行精度和稳定性验证。现阶段测试机组装完成后，一般是采用探针卡对晶圆进行反复测试，最后对多组数据进行重复对比，以及与原始数据的对比，最终得出测试机的精度及测试稳定性是否达标及是否满足出厂标准的结论。但是这种验证方式存在很多不足之处：1）测试机最多有128个通道，如果是测试机的通道出现了问题，就不能快速有效的找出是哪个通道出了问题，需要对测出来的数据进行分析后才能确定问题所在；2）反复进行晶圆的测试，在时间上也不允许，设备及晶圆运行所占用的时间比较长，加上数据分析的时间，这样导致验证测试机的时间也较长；3）通过晶圆测试来进行验证，可能会出现一系列问题，比如测试程序和测试计划的不同，都会影响对结果的判定。

因此，提供一种既能进行晶圆测试，又直接能进行通道测试的探针卡，将能带来极大的便利以及减小测试机生成成本。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于克服现有技术中的不足，提供一种既能进行晶圆测试，又直接能进行通道测试的探针卡。为解决上述技术问题，本实用新型的解决方案是：

提供一种具有通道测试功能的探针卡，包括电路板、至少两个探针和至少两个电路通道，所述具有通道测试功能的探针卡还包括转换电路、控制模块和至少两个测试元件；转换电路、测试元件和电路通道设置在电路板上；

所述转换电路包括开关控制器件和多个开关器件，开关控制器件的输出端连接到开关器件；每个电路通道各自连接有两个开关器件，设为开关器件A和开关器件B；每个电路通道的开关器件A各自与一个测试元件的一端连接，且所有测试元件的另一端连接到一起；每个电路通道的开关器件B各自与一个探针的一端电性连接，每个探针的另一端用于电性连接待测晶圆芯片；

所述控制模块集成有至少一个VCC端、至少一个GND端和多个控制信号端；每个开关器件分别连接到一对VCC端和GND端，开关控制器件分别连接到一对VCC端和GND端，用于对开关器件和开关控制器件供电；开关控制器件还连接到若干控制信号端，用于提供开关控制器件对开关器件的选择信号；控制模块通过控制总线连接到测试机，用于通过外部的测试机对控制模块进行控制；

测试机通过控制模块向开关控制器件传输选择信号，以选择连通的开关器件，进而实现：控制所有开关器件B连通时，所述具有通道测试功能的探针卡能作为常规的探针卡使用，用于晶圆芯片测试；控制任意两个开关器件A连通时，能利用测试元件对这两个开关器件A所连接的电路通道进行测试。

作为进一步的改进，所述开关器件采用干簧继电器、水银继电器或者传输门。

作为进一步的改进，所述开关控制器件包括译码器，译码器输出信号选择连通的开关器件。