[实用新型]一种具有通道测试功能的探针卡

权利要求书

1.一种具有通道测试功能的探针卡，包括电路板、至少两个探针和至少两个电路通道，其特征在于，所述具有通道测试功能的探针卡还包括转换电路、控制模块和至少两个测试元件；转换电路、测试元件和电路通道设置在电路板上；

所述转换电路包括开关控制器件和多个开关器件，开关控制器件的输出端连接到开关器件；每个电路通道各自连接有两个开关器件，设为开关器件A和开关器件B；每个电路通道的开关器件A各自与一个测试元件的一端连接，且所有测试元件的另一端连接到一起；每个电路通道的开关器件B各自与一个探针的一端电性连接，每个探针的另一端用于电性连接待测晶圆芯片；

所述控制模块集成有至少一个VCC端、至少一个GND端和多个控制信号端；每个开关器件分别连接到一对VCC端和GND端，开关控制器件分别连接到一对VCC端和GND端，用于对开关器件和开关控制器件供电；开关控制器件还连接到若干控制信号端，用于提供开关控制器件对开关器件的选择信号；控制模块通过控制总线连接到测试机，用于通过外部的测试机对控制模块进行控制；

测试机通过控制模块向开关控制器件传输选择信号，以选择连通的开关器件，进而实现：控制所有开关器件B连通时，所述具有通道测试功能的探针卡能作为探针卡使用，用于晶圆芯片测试；控制任意两个开关器件A连通时，能利用测试元件对这两个开关器件A所连接的电路通道进行测试。

2.根据权利要求1所述的一种具有通道测试功能的探针卡，其特征在于，所述开关器件采用干簧继电器、水银继电器或者传输门。

3.根据权利要求1所述的一种具有通道测试功能的探针卡，其特征在于，所述开关控制器件包括译码器，译码器输出信号选择连通的开关器件。

4.根据权利要求1所述的一种具有通道测试功能的探针卡，其特征在于，所述测试元件采用电阻或者三极管。