[实用新型]一种混合气体标准溶液制作的控气系统

权利要求书

1.一种混合气体标准溶液制作的控气系统，其特征在于，包括多个用于组分气输送的第一分支管(1)和一个用于载气输送的第二分支管(2)，以及实现所述第一分支管(1)，所述第二分支管(2)近真空状态的真空系统(3)，以及对所述组分气和载气进行混合的混气单元；

所述混气单元包括连接所述真空系统(3)，并进行组分气和载气的混合气体输送的总分管道(6)，以及设置在总分管道(6)上的涡扇混气机构(7)，所述涡扇混气机构(7)与所述第一分支管(1)和第二分支管(2)连接，并接收所述组分气和载气，所述总分管道(6)延伸入末端设置有用于喷出组分气和载气的混合气体的通气盘管(8)。

2.根据权利要求1所述的一种混合气体标准溶液制作的控气系统，其特征在于，所述第一分支管(1)、所述第二分支管(2)以及所述真空系统(3)的管路上均安装有压力传感器(4)和质量流量控制器(5)。

3.根据权利要求1所述的一种混合气体标准溶液制作的控气系统，其特征在于，所述涡扇混气机构(7)包括用于连接所述第一分支管(1)的上层腔室(701)和连接所述第二分支管(2)，并用于所述载气与组分气体混合的下层腔室(702)，所述上层腔室(701)和所述下层腔室(702)内部设置有同轴转动的涡扇(703)；

所述真空系统(3)通过管道连接至所述第二分支管(2)与所述下层腔室(702)的连接处。

4.根据权利要求3所述的一种混合气体标准溶液制作的控气系统，其特征在于，所述下层腔室(702)连接有直管主体(11)。

5.根据权利要求4所述的一种混合气体标准溶液制作的控气系统，其特征在于，所述总分管道(6)上设置有螺旋管(9)，位于螺旋管(9)和涡扇混气机构(7)之间的所述总分管道(6)通过快速接头(10)连接在一起。