[实用新型]一种用于光线曝光中心的定位装置有效
| 申请号: | 202020107955.8 | 申请日: | 2020-01-17 |
| 公开(公告)号: | CN211180530U | 公开(公告)日: | 2020-08-04 |
| 发明(设计)人: | 陈斌 | 申请(专利权)人: | 北京捷安特技术服务有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 北京智行阳光知识产权代理事务所(普通合伙) 11738 | 代理人: | 黄锦阳 |
| 地址: | 101400 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 用于 光线 曝光 中心 定位 装置 | ||
本实用新型属于光线曝光技术领域,尤其为一种用于光线曝光中心的定位装置,包括曝光头,所述曝光头下方设有导光连接座,所述导光连接座上设有光罩,所述导光连接座下方设有调节支座,所述导光连接座外侧壁固定连接有辅助侧框,所述辅助侧框内侧滑动连接有两个支撑侧杆,两个所述支撑侧杆呈对称分布,两个所述支撑侧杆底部均固定连接有定位板;当调节支座上的工件与光罩倾斜时,调节支座调节角度,可以使两个支撑侧杆在调节槽内滑动,连接杆的作用能够使两个支撑侧杆一起移动,使定位板的端面贴合在调节支座的端面上,从而可以校正调节支座的角度,使调节支座上的工件与光罩平行,能够提高调整角度的精准度和曝光作业的效果。
技术领域
本实用新型涉及光线曝光技术领域,具体是一种用于光线曝光中心的定位装置。
背景技术
曝光装置具有光源,其发出紫外线激光,被称为标线片的掩模,其以图案为单位而构成,该图案以多个器件为一组,以及投影透镜。
公开号为(CN200972571Y)的中国专利公开了曝光机的对准定位装置,该专利技术以活动座的半球凸部与固定座的半球凹部相对作球面滑动,以调整工件与光罩间保持平行,且第一伸缩装置顶推活动座,活动座顶推工件朝该光罩靠合的过程中,通过其半球凸部在固定座的半球凹部上进行球面滑动的滑动微调,自动将该工件调整至与该光罩可以平行贴靠的位置,可多方向自动调整,只要工件与光罩间非平行状态,则活动座自动会以半球凸部在固定座的半球凹部上自行调整角度,完全不需人工作业,相当方便,但是活动座自动会以半球凸部在固定座的半球凹部上自行调整角度,在活动座上升或下降的过程中易出现角度倾斜的现象,使在调整角度时不精准,影响曝光作业的效果,因此,本领域技术人员提供了一种用于光线曝光中心的定位装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种用于光线曝光中心的定位装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种用于光线曝光中心的定位装置,包括曝光头,所述曝光头下方设有导光连接座,所述导光连接座上设有光罩,所述导光连接座下方设有调节支座,所述导光连接座外侧壁固定连接有辅助侧框,所述辅助侧框内侧滑动连接有两个支撑侧杆,两个所述支撑侧杆呈对称分布,两个所述支撑侧杆底部均固定连接有定位板,两个所述定位板底部端面均与所述调节支座顶部端面相贴合,两个所述支撑侧杆之间设有连接杆,且所述连接杆固定在两个所述支撑侧杆上,所述辅助侧框外侧设有限位螺栓。
作为本实用新型再进一步的方案:所述辅助侧框为凵形状。
作为本实用新型再进一步的方案:所述辅助侧框开设有调节槽,且两个所述支撑侧杆均滑动在所述调节槽内。
作为本实用新型再进一步的方案:所述连接杆滑动在所述调节槽内。
作为本实用新型再进一步的方案:所述支撑侧杆的宽度是所述连接杆宽度的五倍。
作为本实用新型再进一步的方案:两个所述支撑侧杆顶部均固定连接有限位板,所述限位板的宽度等于所述辅助侧框的宽度。
作为本实用新型再进一步的方案:所述限位螺栓与所述辅助侧框螺纹连接,所述限位螺栓一端贯穿所述辅助侧框,并与所述支撑侧杆接触压紧。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
当调节支座上的工件与光罩倾斜时,调节支座调节角度,可以使两个支撑侧杆在调节槽内滑动,连接杆的作用能够使两个支撑侧杆一起移动,使定位板的底部端面贴合在调节支座的顶部端面上,从而可以校正调节支座的角度,使调节支座上的工件与光罩平行,能够提高调整角度的精准度和曝光作业的效果,且限位板能够限制支撑侧杆的位置,使支撑侧杆不会从辅助侧框内脱出,限位螺栓能够固定支撑侧杆的位置,限制支撑侧杆的移动,从而可以稳定的使用装置,避免支撑侧杆影响到装置工作。
附图说明
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