[实用新型]一种摇摆式真空管式炉

权利要求书

1.一种摇摆式真空管式炉，其特征在于，包括加热箱体以及设于所述加热箱体内的炉管，所述加热箱体包括铰接于一起的上箱体与下箱体，所述上箱体与下箱体的内部均设有带有电阻丝的炉衬，所述加热箱体的两侧面板上及炉衬的中部均设有半圆槽；当上、下箱体关闭时，所述半圆槽闭合形成炉孔以安装所述炉管；

所述摇摆式真空管式炉装置还包括底座以及驱动器，所述底座上设有U型支架，所述U型支架上设有一转轴，所述加热箱体的中部安装于所述转轴上；所述驱动器通过一曲柄连杆机构驱动所述加热箱体沿所述转轴上下摆动。

2.如权利要求1所述的摇摆式真空管式炉，其特征在于，所述驱动器为伺服电机。

3.如权利要求1所述的摇摆式真空管式炉，其特征在于，所述下箱体内位于炉衬的两侧各设有一支撑架，其中一支撑架的侧面上安装有一对驱动齿轮，另一支撑架的侧面上安装有一对旋转导轨；所述炉管的一端对应地安装有与所述驱动齿轮啮合的从动齿轮，另一端对应地安装有与所述旋转导轨匹配的导轮。

4.如权利要求3所述的摇摆式真空管式炉，其特征在于，所述支撑架的顶端设置有用于放置炉管的半圆槽。

5.如权利要求1所述的摇摆式真空管式炉，其特征在于，所述炉管的进气端和出气端均安装有密封法兰、阀门与压力表。

6.如权利要求5所述的摇摆式真空管式炉，其特征在于，所述炉管进气端还安装有多通道气体质量流量计和气体混合装置。

7.如权利要求1所述的摇摆式真空管式炉，其特征在于，所述炉管为陶瓷管。

8.如权利要求1所述的摇摆式真空管式炉，其特征在于，所述炉衬上设有多个栅格孔。