[发明专利]一种微波等离子体化学气相沉积系统

权利要求书

1.一种微波等离子体化学气相沉积系统，其特征在于，包括微波源、微波传输装置及等离子体设备主机，所述微波源通过所述微波传输装置与所述等离子体设备主机连接；

所述等离子体设备主机包括：

机架；

真空腔基座，所述真空腔基座与所述机架连接，所述真空腔基座的中部设置有样品基片台；

腔盖，所述腔盖能够与所述真空腔基座进行密封配合；

升降装置，所述升降装置的底部与所述机架连接，上部与所述腔盖连接，所述升降装置能够带动所述腔盖上下移动；

所述升降装置包括升降机构及悬挂组件，所述悬挂组件与所述升降机构连接，所述升降机构与所述机架连接；

所述悬挂组件为弧形结构，包括悬臂及三个连接件，所述三个连接件沿所述悬臂的弧形方向间隔排布，所述悬臂通过所述三个连接件与所述腔盖连接。

2.根据权利要求1所述的微波等离子体化学气相沉积系统，其特征在于，所述悬臂包括底板、立板和盖板，所述底板通过所述立板与所述盖板连接；

所述底板上设置有三个安装孔，所述三个连接件分别安装在所述三个安装孔中，并能够沿所述安装孔自由移动；所述连接件的上端设置有限位端头，所述限位端头能够防止所述连接件从所述安装孔中脱落。

3.根据权利要求2所述的微波等离子体化学气相沉积系统，其特征在于，所述连接件采用了万向节结构。

4.根据权利要求2所述的微波等离子体化学气相沉积系统，其特征在于，所述升降装置还包括旋转机构，所述旋转机构与所述悬挂组件及所述升降机构连接，用于驱动所述悬挂组件绕竖直轴转动。

5.根据权利要求1所述的微波等离子体化学气相沉积系统，其特征在于，还包括模式转换器，所述模式转换器包括矩形波导、圆形波导、门钮、内导体；

所述真空腔基座的中部设置有安装通孔，所述矩形波导的上盖板上设置有上部通孔，所述圆形波导的上端连接于所述安装通孔处，下端连接于所述上部通孔处；所述内导体的上端穿过所述安装通孔，下端与所述门钮连接；

所述门钮为与所述内导体同轴的曲面回转体，所述门钮通过下端面边缘的圆周刃边与所述矩形波导下盖板的内表面配合；

所述样品基片台的底部设置有中部通孔；所述内导体的上端延伸至所述中部通孔处。

6.根据权利要求5所述的微波等离子体化学气相沉积系统，其特征在于，所述中部通孔处设置有爪型轴套；

所述爪型轴套包括朝下延伸的锥形套管，所述锥形套管上设置有多个开槽，所述多个开槽沿所述爪型轴套的轴向延伸；

所述锥形套管套设在所述内导体上。

7.根据权利要求5所述的微波等离子体化学气相沉积系统，其特征在于，所述门钮的下端面设置有圆柱状凸台，所述矩形波导下盖板的内表面上设置有凹部，所述凸台嵌设在所述凹部中；

所述凸台的圆周面与所述门钮下端面呈锐角设置，从而使得所述门钮下端面边缘形成所述刃边。

8.根据权利要求7所述的微波等离子体化学气相沉积系统，其特征在于，所述矩形波导的下盖板与所述凸台通过螺钉连接。

9.根据权利要求5所述的微波等离子体化学气相沉积系统，其特征在于，所述等离子体设备主机还包括中部连接管，所述内导体及所述门钮均设置有轴向通孔；所述矩形波导的下盖板上设置有下部通孔，所述门钮安装在所述下部通孔处；

所述中部连接管的一端连接有法兰板，并穿设于所述轴向通孔中；

所述样品基片台设置有中空内腔，所述法兰板设置在所述中空内腔中；

所述中部连接管的下部设置有拉紧装置，所述拉紧装置与所述矩形波导抵接，所述拉紧装置能够给所述中部连接管、所述法兰板施加拉力，从而使得所述样品基片台与所述真空腔基座的上表面紧密配合。