[发明专利]一种化学机械抛光液及其应用

权利要求书

1.一种化学机械抛光液，其特征在于，

包括：研磨颗粒，络合剂，磺酸类表面活性剂，烷醇酰胺表面活性剂，氮唑类腐蚀抑制剂和氧化剂。

2.如权利要求1所述的化学机械抛光液，其特征在于，

所述磺酸类表面活性剂选自十二烷基苯磺酸及其钠盐、钾盐或铵盐，对-甲基苯磺酸及其钠盐、钾盐或铵盐，对-乙基苯磺酸及其钠盐、钾盐或铵盐，对-丙基苯磺酸及其钠盐、钾盐或铵盐，烷基二苯醚单磺酸及其钠盐、钾盐或铵盐，烷基二苯醚双磺酸及其钠盐、钾盐或铵盐，2-甲基酰胺-2-甲基丙磺酸及其钠盐、钾盐或铵盐，环己基氨基磺酸及其钠盐、钾盐或铵盐，氨基苯磺酸及其钠盐、钾盐或铵盐，2，4-二氨基苯磺酸及其钠盐、钾盐或铵盐，3-氨基丙烷磺酸及其钠盐、钾盐或铵盐，4-氨基-3-甲基苯磺酸及其钠盐、钾盐或铵盐，1-萘胺-5-磺酸及其钠盐、钾盐或铵盐，2-2’-联苯胺二磺酸及其钠盐、钾盐或铵盐中的一种或多种。

3.如权利要求1所述的化学机械抛光液，其特征在于，

所述磺酸类表面活性剂的质量百分比含量为0.0001％-0.2％。

4.如权利要求1所述的化学机械抛光液，其特征在于，

所述烷醇酰胺表面活性剂选自二乙醇酰胺、椰油酸单乙醇酰胺、椰油酸二乙醇酰胺、月桂酸二乙醇酰胺、椰子油脂肪酸单乙醇酰胺、椰子油脂肪酸二乙醇酰胺、十二烯基丁二酸二乙醇酰胺、十二碳烯酸单乙醇酰胺、油酸单乙醇酰胺、亚油酸二乙醇酰胺、十六醇磷酸酯二乙醇酰胺、十一烯酸单乙醇酰胺磺基琥珀酸二钠盐、硬脂酸二乙醇酰胺、肉豆蔻酸二乙醇酰胺、N-(2-羟基乙基)-3,5-二羟基苯甲酰胺、N-(2-羟乙基)十二烷基酰胺、2,4-二羟基-N-(2-羟乙基)苯甲酰胺、(Z,Z)-N,N-二(2-羟乙基)-9,12-十八烷二烯酰胺、花生四烯酸乙醇胺、(Z)-N,N-二(2-羟基乙基)-9-十八烯酸酰胺中的一种或多种。

5.如权利要求1所述的化学机械抛光液，其特征在于，

所述烷醇酰胺表面活性剂的质量百分比含量为0.0001％-0.2％。

6.如权利要求1所述的化学机械抛光液，其特征在于，

所述研磨颗粒为二氧化硅；

所述研磨颗粒的质量百分比浓度为0.05％-1％；

所述研磨颗粒的平均粒径为20-120nm。

7.如权利要求1所述的化学机械抛光液，其特征在于，

所述络合剂为选自甘氨酸、丙氨酸、天冬氨酸、天冬酰胺、丝氨酸、苏氨酸、酪氨酸、色氨酸、脯氨酸、半胱氨酸、甲硫氨酸、精氨酸、组氨酸中、缬氨酸、亮氨酸、苯丙氨酸、赖氨酸、谷氨酸、谷氨酰胺、氨三乙酸、乙二胺四乙酸、环己烷四乙酸、乙二胺二琥珀酸、二乙烯三胺五乙酸和三乙烯四胺六乙酸中的一种或多种；

所述络合剂的质量百分比含量为0.1％-3.0％。

8.如权利要求1所述的化学机械抛光液，其特征在于，

所述氮唑类腐蚀抑制剂选自1，2，4-三氮唑、3-氨基-1，2，4-三氮唑、4-氨基-1，2，4-三氮唑、3，5-二氨基-1，2，4-三氮唑、5-羧基-3-氨基-1，2，4-三氮唑、3-氨基-5-巯基-1，2，4-三氮唑、5-乙酸-1H-四氮唑、巯基苯并噻唑、甲基苯并三氮唑、5-苯基-1-H-四氮唑、5-甲基四氮唑和5-氨基-1H-四氮唑中的一种或两种；

所述氮唑类腐蚀抑制剂的质量百分比含量为0.001-0.5％。

9.如权利要求1所述的化学机械抛光液，其特征在于，

所述氧化剂为过氧化氢；

所述氧化剂的质量百分比含量为0.05％-3.0％。

10.如权利要求1所述的化学机械抛光液，其特征在于，

所述化学机械抛光液的pH值为5.0-8.0。

11.一种如权利要求1～10任一所述的化学机械抛光液在金属铜的抛光中的应用。