[发明专利]一种CIGS共蒸法的卷对卷输送同步控制结构

权利要求书

1.一种CIGS共蒸法的卷对卷输送同步控制结构，包括真空腔，真空腔内设置放卷轴和收卷轴，放卷轴和收卷轴之间收放输送基底卷材，其特征在于：所述放卷轴和收卷轴之间设有若干输送辊，每一个输送辊的端部均沿轴向突出设置有半轴，所述半轴环周的一段是与输送辊同轴线的半径为R的圆柱面，半轴环周的其他位置与轴线的距离小于R，所述半轴一侧设有顶针，所述顶针的尖端与输送辊轴线距离为R；

顶针接触信号输出电信号，输出周期变化的方波，通过方波的周期T可计算每一根输送辊的转速；不同输送辊起始位置不同，方波之间存在相位差φ，不同输送辊输出方波的相位差φ恒定时，输送辊同步，当不同输送辊输出方波的相位差φ发生变化，则输送辊之间存在转速差，存在转速差则意味着输送辊不同步，必然存在转速较慢的输送辊和基底卷材之间存在打滑或者空转，导致基底卷材抖动，影响镀膜均匀性，需要对基底卷材的张紧力进行调节，或者对输送辊进行维护。

2.根据权利要求1所述的一种CIGS共蒸法的卷对卷输送同步控制结构，其特征在于：所述顶针的后端以及输送辊的端部在真空腔之外串联有示波器及电源，共同组成电信号检测回路。

3.根据权利要求1或2所述的一种CIGS共蒸法的卷对卷输送同步控制结构，其特征在于：所述半轴为圆柱体的一部分，圆柱面弧度为90-270度。

4.根据权利要求1或2所述的一种CIGS共蒸法的卷对卷输送同步控制结构，其特征在于：所述半轴为凸轮结构，凸轮的最大半径为R，半径为R的凸轮面连续设置90-270度。

5.根据权利要求1或2所述的一种CIGS共蒸法的卷对卷输送同步控制结构，其特征在于：所述放卷轴、收卷轴的轴端也设置有半轴与顶针结构。

6.根据权利要求1所述的一种CIGS共蒸法的卷对卷输送同步控制结构，其特征在于：靠近收卷轴的其中一个输送辊为张紧辊，所述张紧辊的两端分别设置独立的张力传感器。

7.根据权利要求1或6所述的一种CIGS共蒸法的卷对卷输送同步控制结构，其特征在于：所述放卷轴连接设置可独立控制的放卷伺服电机，所述收卷轴连接设置可独立调节的收卷伺服电机。

8.根据权利要求1或2或6所述的一种CIGS共蒸法的卷对卷输送同步控制结构，其特征在于：所述顶针倾斜设置，顶针的倾斜角度位于半轴圆柱面的径向和切向之间。

9.根据权利要求8所述的一种CIGS共蒸法的卷对卷输送同步控制结构，其特征在于：所述顶针与半轴圆柱面径向的夹角不小于30度。

10.根据权利要求1或2或6所述的一种CIGS共蒸法的卷对卷输送同步控制结构，其特征在于：所述半轴半径为R的圆柱面为正公差，所述顶针尖端与轴线距离R为负公差。