[发明专利]可旋转调节角度的加热装置及碳化硅粉末表面氧化方法

权利要求书

1.一种可旋转调节角度的加热装置，其特征在于，包括：

水平设置的加热组件，所述加热组件包括加热炉体(1)和内筒(2)，所述加热炉体(1)内部具有加热腔；所述内筒(2)贯穿所述加热炉体(1)的相对两端并内嵌于所述加热腔内，并且所述内筒(2)与所述加热炉体(1)转动连接；所述内筒(2)的相对两端分别密封设置；

供气机构，所述供气机构连通所述内筒(2)的一端并与所述内筒(2)密封连接；

固定机构以及传动机构，所述固定机构外接于所述加热组件底部，且与所述内筒(2)转动连接；所述传动机构连接所述固定机构，用于控制所述固定机构的倾斜角度。

2.根据权利要求1所述的可旋转调节角度的加热装置，其特征在于，所述内筒(2)的一端设有进料门(3)，所述进料门(3)与所述内筒(2)的内侧壁密闭连接；所述内筒(2)的另一端设有密封块，并且所述密封块上开设有出气口(4)；所述出气口(4)处设有过滤器(5)。

3.根据权利要求1所述的可旋转调节角度的加热装置，其特征在于，还包括旋转驱动机构，用于控制所述内筒(2)的转动；

所述旋转驱动机构包括第一电机(6)、传动皮带(7)和联轴器(8)，所述第一电机(6)的输出轴端通过所述传动皮带(7)与所述联轴器(8)传动连接，所述联轴器(8)连接所述内筒(2)的一端；所述第一电机(6)用于控制所述内筒(2)的转向和转速。

4.根据权利要求1所述的可旋转调节角度的加热装置，其特征在于，所述供气机构包括气罐(10)、进气阀(11)和进气管(9)，所述气罐(10)通过所述进气管(9)连通所述内筒(2)的一端，并且所述进气管(9)通过密封件(12)与所述内筒(2)密封连接；所述进气阀(11)用于控制输送气体气压。

5.根据权利要求1所述的可旋转调节角度的加热装置，其特征在于，所述固定机构包括固定平台(13)、多个第一支撑架(14)和第二支撑架(15)，所述多个第一支撑架(14)的一端分别连接在所述固定平台(13)上，另一端分别连接所述加热炉体(1)的两端；

所述多个第二支撑架(15)的一端分别连接在所述固定平台(13)上；另一端分别通过连接件(16)转动连接在所述内筒(2)的两端。

6.根据权利要求5所述的可旋转调节角度的加热装置，其特征在于，所述传动机构包括第一传动组件和第二传动组件，所述第一传动组件和第二传动组件分别连接在所述固定平台(13)的两端，用于控制所述固定平台(13)的倾斜角度。

7.根据权利要求6所述的可旋转调节角度的加热装置，其特征在于，所述第一传动组件包括第二电机(17)和第一传动杆(18)，所述第一传动杆(18)的一端与所述第二电机(17)的输出轴端传动连接，另一端连接所述固定平台(13)；

所述第二传动组件包括第三电机(19)和第二传动杆(20)，所述第二传动杆(20)的一端与所述第三电机(19)的输出轴端传动连接，另一端连接所述固定平台(13)。

8.根据权利要求1或6所述的可旋转调节角度的加热装置，其特征在于，所述倾斜角度为0～60°。

9.根据权利要求1所述的可旋转调节角度的加热装置，其特征在于，所述加热炉体(1)的内侧壁上设有多个加热器(21)；所述内筒(2)为陶瓷管。

10.一种碳化硅粉末表面氧化方法，其特征在于，基于权利要求1-9任一项所述的可旋转调节角度的加热装置，所述氧化方法包括以下步骤：

(1)将碳化硅粉末加入至内筒中，并升温至800～1300℃；

(2)启动供气机构，向所述内筒中通入气体，进行氧化处理；

(3)控制内筒旋转，并保持旋转速度为10～15r/min；同时控制内筒进行倾斜角度的上下往复运动，上下往复运动一次的倾斜角度为0～60°，频率为1～5次/min，且上下往复运动一次的频率计为2次，时间为15～25min。