[发明专利]一种集成电路制造用钻孔设备及集成电路制造工艺

权利要求书

1.一种集成电路制造用钻孔设备，包括传送底座(1)，其特征在于：所述传送底座(1)顶部相对应的两侧均固定安装有侧安装板(2)，两个所述侧安装板(2)的顶部固定安装有顶安装箱(3)，所述顶安装箱(3)的内部转动连接有第一连接杆(4)，所述第一连接杆(4)的外侧固定安装有两个第一锥齿轮(5)，所述顶安装箱(3)内壁的底部转动连接有两个第二锥齿轮(6)，所述第一锥齿轮(5)与第二锥齿轮(6)啮合，所述顶安装箱(3)相对应的两侧均固定安装有侧安装箱(12)，所述顶安装箱(3)的底部固定安装有底安装箱(19)，所述传送底座(1)顶部远离侧安装板(2)的一侧固定安装有放料箱(27)，所述放料箱(27)的一侧开设有侧观察槽(40)，所述顶安装箱(3)与放料箱(27)之间固定安装有连接板(38)，所述连接板(38)的底部固定安装有视觉检测模块(39)。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路制造用钻孔设备，其特征在于：所述顶安装箱(3)内壁的顶部固定安装有内安装架(7)，所述内安装架(7)的底部固定安装有内安装箱(8)，所述内安装箱(8)的内部固定安装有第一伺服电机(9)，所述第一伺服电机(9)的输出端贯穿内安装箱(8)并固定安装有第一传动齿轮(10)，所述第一连接杆(4)的外侧且位于第一传动齿轮(10)的下方固定安装有第二传动齿轮(11)，所述第一传动齿轮(10)与第二传动齿轮(11)啮合。

3.根据权利要求1所述的一种集成电路制造用钻孔设备，其特征在于：所述第一连接杆(4)相对应的两端分别穿入到两个侧安装箱(12)的内部并固定安装有第三锥齿轮(13)，所述侧安装箱(12)内壁的底部转动连接有传动杆(14)，所述传动杆(14)的顶部固定安装有第四锥齿轮(43)，所述第三锥齿轮(13)与第四锥齿轮(43)啮合，所述传动杆(14)的外侧固定安装有第三传动齿轮(15)，所述侧安装箱(12)的内部滑动连接有第二连接杆(16)，所述第二连接杆(16)贯穿侧安装板(2)并固定安装有橡胶夹持板(17)，所述第二连接杆(16)的一侧设置有连接齿条(18)，所述连接齿条(18)与第三传动齿轮(15)啮合。

4.根据权利要求1所述的一种集成电路制造用钻孔设备，其特征在于：所述底安装箱(19)内壁相对应的两侧均开设有内滑槽(20)，所述内滑槽(20)的内部转动连接有转动丝杆(21)，所述转动丝杆(21)与第二锥齿轮(6)固定连接，所述内滑槽(20)的内部滑动连接有滑动槽(22)，所述转动丝杆(21)贯穿滑动槽(22)并与滑动槽(22)螺纹连接，两个所述滑动槽(22)之间固定安装有横安装板(23)。

5.根据权利要求4所述的一种集成电路制造用钻孔设备，其特征在于：所述横安装板(23)的底部固定安装有电机安装箱(24)，所述电机安装箱(24)的内部固定安装有第二伺服电机(25)，所述第二伺服电机(25)的输出端贯穿电机安装箱(24)的底部并固定安装有转动钻头(26)。

6.根据权利要求1所述的一种集成电路制造用钻孔设备，其特征在于：所述放料箱(27)底部相对应的两侧均开设有过料槽(28)，所述放料箱(27)内部且位于靠近顶安装箱(3)一侧的过料槽(28)的上方开设有内安装槽(29)，所述内安装槽(29)内壁的顶部固定安装有支撑弹簧(30)，所述支撑弹簧(30)的底部固定安装有底阻挡块(31)，所述底阻挡块(31)贯穿放料箱(27)。

7.根据权利要求1所述的一种集成电路制造用钻孔设备，其特征在于：所述传送底座(1)内部的一侧转动连接有主动转动辊(32)，所述传送底座(1)内部远离主动转动辊(32)的一侧转动连接有从动转动辊(33)，所述主动转动辊(32)的外侧套接有传输皮带(34)，所述主动转动辊(32)通过传输皮带(34)与从动转动辊(33)传动连接，所述传送底座(1)的一侧固定安装有外安装箱(35)，所述外安装箱(35)的内部固定安装有第三伺服电机(36)，所述第三伺服电机(36)的输出端穿入到传送底座(1)的内部并与主动转动辊(32)固定连接，所述传输皮带(34)的外侧固定安装有多个推料块(37)。