[发明专利]一种超薄网格薄膜用激光清洗装置及薄膜用激光清洗方法

说明书

本申请提供一种超薄网格薄膜用激光清洗装置及薄膜用激光清洗方法，其光路传输模块与激光发射模块间隔设置，并接收和传导校准由激光发射模块发射而来的激光；多边转镜模块与光路传输模块间隔设置，并接收和传导由光路传输模块传输而来的激光，用于对金属掩膜版进行激光清洗；实时监测模块用于对清洗过程中的金属掩膜版的形貌以及清洗过程中产生灰尘的光谱信息进行监测分析；实时监测模块和抽尘模块分别间隔地设置于金属掩膜版的相对两侧，用于对金属掩膜版在清洗过程中产生的灰尘进行清洗；控制模块分别与激光发射模块、多边转镜模块、实时监测模块以及抽尘模块电连接。采用该装置对工件进行清洗，能提高清洗效率和效果。

技术领域

本申请涉及激光清洗领域，尤其涉及一种超薄网格薄膜用激光清洗装置及薄膜用激光清洗方法。

背景技术

激光清洗是一种新型的清洗方法，利用激光的高能量，通过光剥离，光分解等原理清除材料表面的污染物，相比于化学清洗和传统的物理清洗技术，具有绿色环保高效的优点。早在上世纪八十年代，IBM将激光清洗技术应用于电子束投影放大的掩膜版被污染部位，通过激光与杂质颗粒相互作用，附着力强的杂质颗粒被去除。

随着技术的发展，离子束溅射系统的掩膜版或者OLED蒸镀仪的金属遮罩更加精密，组成掩膜版的金属薄片也变得越来越薄，当使用连续激光时由于其长脉冲宽度和低激光强度的特点容易打伤基材，对掩膜版造成损坏。因此，传统的连续脉冲激光清洗方式不适用于超薄高精度网格薄膜的清洗。

发明内容

本申请的目的之一在于提供一种超薄网格薄膜用激光清洗装置及薄膜用激光清洗方法，旨在改善现有的连续脉冲激光清洗方式不适用于超薄高精度网格薄膜的清洗的问题。

本申请的技术方案是：

一种超薄网格薄膜用激光清洗装置，包括：

激光发射模块，用于发射激光；

光路传输模块，与所述激光发射模块间隔设置，并接收和传导校准由所述激光发射模块发射而来的激光；

多边转镜模块，与所述光路传输模块间隔设置，并接收和传导由所述光路传输模块传输而来的激光，用于对金属掩膜版进行激光清洗；

实时监测模块，用于对清洗过程中的所述金属掩膜版的形貌以及清洗过程中产生灰尘的光谱信息进行监测分析，并将分析信号发送到控制模块；

抽尘模块，所述实时监测模块和所述抽尘模块分别间隔地设置于所述金属掩膜版的相对两侧，用于对所述金属掩膜版在清洗过程中产生的灰尘进行清洗；

控制模块，分别与所述激光发射模块、所述多边转镜模块、所述实时监测模块以及所述抽尘模块电连接，用于分别控制所述激光发射模块、所述多边转镜模块、所述实时监测模块以及所述抽尘模块的开启或者关闭。

作为本申请的一种技术方案，所述激光发射模块包括飞秒激光器，所述飞秒激光器具有第一激光出口和第二激光出口，所述第一激光出口和所述第二激光出口发射出的两路激光的波长不同、脉宽不同；所述第一激光出口处于所述第二激光出口的正上方，当所述第一激光出口开启时，所述第二激光出口关闭；当所述第二激光出口开启时，所述第一激光出口关闭。

作为本申请的一种技术方案，所述光路传输模块包括第一上反射镜、第一上透镜、第二上透镜、第二上反射镜、第三反射镜以及第四反射镜；所述第一激光出口、所述第一上反射镜、所述第一上透镜、所述第二上透镜以及所述第二上反射镜的中心处于同一水平线上，所述第一上反射镜与所述第二上反射镜相平行且沿朝向所述第一激光出口的方向倾斜设置，所述第一上透镜、第二上透镜相平行且均竖直设置；所述第四反射镜、所述第三反射镜以及所述第二上反射镜依次由上至下地平行间隔设置。