[发明专利]用于探测器阵列芯片和微透镜阵列的安装装置和定位方法

权利要求书

1.一种用于探测器阵列芯片和微透镜阵列的安装装置，其特征在于，所述安装装置包括安装底板、探测器芯片底板、微透镜压片、微调移动平台和位置调整平台；

所述位置调整平台通过安装底板安装在测量显微镜的平台上，位置调整平台上设置有竖直方向的第一通孔；

所述微调移动平台通过微调平台安装板固定在位置调整平台上，跟随位置调整平台执行包括水平X轴移动、水平Y轴移动和水平旋转3个自由度的位置调整，微调平台安装板与位置调整平台对应的位置上设置有竖直方向的第二通孔；

所述探测器芯片底板竖直固定在安装底板上表面上，依次竖直穿过第一通孔和第二通孔延伸至位置调整平台上方；所述探测器芯片底板的上表面设置有连接真空泵的真空吸附孔，用于将超导微波动态电感探测器阵列芯片吸附在探测器芯片底板上表面；所述探测器芯片底板跟随安装底板移动，使超导微波动态电感探测器阵列芯片的外轮廓水平边和测量显微镜中的水平参考线重合；

所述微透镜压片与微调移动平台连接，跟随微调移动平台水平移动至探测器芯片底板正上方，再竖直移动以压住放置在超导微波动态电感探测器阵列芯片之上的微透镜阵列，微透镜阵列跟随微调移动平台移动，使微透镜阵列四个角上的透镜圆心的坐标值与超导微波动态电感探测器阵列芯片四个角上的平面天线中心点的坐标值一致。

2.根据权利要求1所述的用于探测器阵列芯片和微透镜阵列的安装装置，其特征在于，所述位置调整平台包括XY移动平台、旋转移动平台和旋转平台安装板；

所述旋转平台安装板放置在安装底板上方，包括依次连接呈台阶状的第一连接板、第二连接板和第三连接板，所述第一连接板和第三连接板均与安装底板平行，所述第一连接板相对于第三连接板更临近安装底板上表面，所述第三连接板与安装底板之间构成一矩形容纳腔；

所述XY移动平台安装在矩形容纳腔内，固定在安装底板上；XY移动平台的调节旋钮延伸至矩形容纳腔外侧，在外力作用下旋转并驱使旋转平台安装板相对安装底板沿水平X轴和水平Y轴移动；

所述旋转移动平台安装在第一连接板上表面上，微调移动平台固定在旋转移动平台上表面上，跟随旋转移动平台自转。

3.根据权利要求1所述的用于探测器阵列芯片和微透镜阵列的安装装置，其特征在于，所述安装装置包括两个对称设置在微透镜阵列两侧的微透镜压片。

4.根据权利要求1所述的用于探测器阵列芯片和微透镜阵列的安装装置，其特征在于，所述探测器芯片底板包括圆柱形支架和圆形平台；

所述圆柱形支架竖直安装在安装底板上，依次穿过第一通孔和第二通孔延伸至微调平台安装板上方；所述圆形平台与安装底板平行，连接在圆柱形支架顶部。

5.一种基于权利要求1所述安装装置的用于探测器阵列芯片和微透镜阵列的定位方法，其特征在于，所述定位方法包括以下步骤：

S1，将超导微波动态电感探测器阵列芯片放置在探测器芯片底板上，打开真空泵吸附住探测器芯片，调节安装底板，使得超导微波动态电感探测器阵列芯片的外轮廓水平边与测量显微镜中的水平参考线重合，确认并调整探测器芯片的外轮廓垂直边与测量显微镜中的垂直参考线重合；

S2，移动测量显微镜的平台，以超导微波动态电感探测器阵列芯片轮廓上的任意一个顶点为原点，将测量显微镜的坐标值归零，测量超导微波动态电感探测器阵列芯片上四个角上的平面天线中心点的坐标轴，并记录；

S3，将微透镜阵列放置在超导微波动态电感探测器阵列芯片上，调节微调移动平台的水平位置和高度值，将微透镜压片压在微透镜阵列上表面，使微透镜阵列跟随微调移动平台同步移动；

S4，调节旋转移动平台，使微透镜阵列的外轮廓水平边与测量显微镜中的水平参考线重合，确认并调整微透镜的外轮廓垂直边与测量显微镜中的垂直参考线重合；

S5，移动测量显微镜的平台，测量微透镜阵列四个角上的透镜圆心的坐标值，并记录；

S6，调节XY移动平台和微调移动平台，使微透镜阵列四个角上的透镜圆心的坐标值与步骤S2中超导微波动态电感探测器阵列芯片上四个角上的平面天线中心点的坐标值一致；

S7，重复步骤S6中坐标值的一致性，完成定位安装。