[发明专利]一种N型高效太阳能电池及制备方法

权利要求书

1.一种N型高效太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述N型高效太阳能电池为使用N型硅片制成的N型高效异质结太阳能电池；所述制备方法包括如下步骤：

（201）取少子寿命相同或接近的N型硅片，先NaOH清洗，再HF和HCL混合清洗，烘干；

（202）将硅片送入管式扩散炉，管式扩散炉内通有携带液态源的氮气和氧气，液态源为三溴化硼，通过高温扩散的方式在硅片正面和背面沉积一层吸杂源；

（203）将沉积有吸杂源的硅片送入链式退火炉进行吸杂处理，链式退火炉设置有5个温区，各温区的温度分别设为530℃、670℃、770℃、740℃、500℃，通过链式退火炉热处理20min，完成吸杂，在硅片表面形成一层吸杂层；

（204）将吸杂后的硅片采用质量百分比浓度为5%的NaOH溶液进行常规制绒，制绒过程去除吸杂层；

（205）硅片正面和背面沉积本征非晶硅层；

（206）在本征非晶硅层的正面和背面沉积掺杂非晶硅；

（207）硅片正面和背面沉积透明导电薄膜；

（208）丝网印刷金属电极制得N型高效异质结太阳能电池片。