[发明专利]光学装置和光学装置测试方法有效
| 申请号: | 202011561451.4 | 申请日: | 2020-12-25 |
| 公开(公告)号: | CN113340808B | 公开(公告)日: | 2023-10-10 |
| 发明(设计)人: | 杉山昌树 | 申请(专利权)人: | 富士通光器件株式会社 |
| 主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01;G02B27/28;G02B27/42 |
| 代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 刘久亮;黄纶伟 |
| 地址: | 日本神*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 光学 装置 测试 方法 | ||
光学装置和光学装置测试方法。一种光学装置,该光学装置包括光电路和光学连接到光电路的测试电路。测试电路包括:第一光栅耦合器,其被配置为接收测试光;第二光栅耦合器,其被配置为输出通过了第一光栅耦合器的测试光作为参考光;以及第一分支耦合器,其被连接到第一光栅耦合器的输出。第一分支耦合器包括连接到光电路的输入并且被配置为将来自第一光栅耦合器的测试光分支并输出到光电路的第一输出。此外,第一分支耦合器包括连接到第二光栅耦合器的输入并且被配置为将来自第一光栅耦合器的测试光分支并输出到第二光栅耦合器的第二输出。
技术领域
本文讨论的实施方式涉及光学装置(optical device)和光学装置测试方法。
背景技术
图6是示出传统测试系统200的示例的说明图。图6所示的测试系统200包括光芯片(optical chip)210和测试设备220。测试设备220包括第一光源221A、第一偏振控制器(polarization controller)222A、第二光源221B和第二偏振控制器222B。
例如,第一光源221A是发出与接收光(reception light)相对应的第三测试光的光源。第一偏振控制器222A使来自第一光源221A的第三测试光偏振,并且通过使用光纤230A将经偏振的第三测试光输出到光芯片210内的接收光端口212。需要注意,第一偏振控制器222A控制第三测试光的偏振以生成TE偏振(TE-polarization)的第三测试光或TM偏振(TM-polarization)的第三测试光。第二偏振控制器222B使来自第二光源221B的第四测试光偏振,并且通过使用光纤230B将经偏振的第四测试光输出到光芯片210内的本地光端口211。需要注意,第二偏振控制器222B控制第四测试光的偏振以生成TM偏振的第四测试光或TE偏振的第四测试光。接收光端口212和本地光端口211设置在光芯片210的侧面端部。
例如,光芯片210是诸如数字相干接收部件的IC芯片。光芯片210是从晶片切割出的光芯片。光芯片210包括本地光端口211、接收光端口212、BS(分束器,Beam Splitter)213、PBS(偏振分束器)214和PR(偏振旋转器,Polarization Rotator)215。此外,光芯片210包括第一光混合电路(first optical hybrid circuit)216A、第二光混合电路216B、第一PD(光电二极管)217A至第四PD 217D以及第一输出端口218A至第四输出端口218D。
本地光端口211形成在光芯片210内的侧面端部中,并且例如是接收本地光或与本地光相对应的第四测试光的端口。需要注意,当晶片被切割为芯片时,本地光端口211暴露于光芯片210的侧面端部。接收光端口212形成在光芯片210内的侧面端部中,并且是接收接收光或与接收光相对应的第三测试光的端口。需要注意,当晶片被切割为芯片时,接收光端口212暴露于光芯片210的侧面端部。BS 213将来自本地光端口211的本地光分路并输出到第一光混合电路216A和第二光混合电路216B。PBS 214将从接收光端口212输入的接收光分成诸如X偏振分量和Y偏振分量的彼此正交的两个偏振模式。需要注意,X偏振分量是水平偏振分量,并且Y偏振分量是垂直偏振分量。PBS 214将来自接收光的X偏振分量输出到第一光混合电路216A。此外,PR 215将来自PBS 214的接收光的Y偏振分量输出到第二光混合电路216B。
第一光混合电路216A使本地光与接收光的X偏振分量发生干涉(interfere)以获取I分量和Q分量的光信号。需要注意,I分量是同相分量,并且Q分量是正交分量(quadrature component)。第一光混合电路216A将X偏振分量中的I分量的光信号输出到第一PD 217A。第一光混合电路216A将X偏振分量中的Q分量的光信号输出到第二PD 217B。
第二光混合电路216B使本地光与接收光的Y偏振分量发生干涉以获取I分量和Q分量的光信号。第二光混合电路216B将Y偏振分量中的I分量的光信号输出到第三PD 217C。第二光混合电路216B将Y偏振分量中的Q分量的光信号输出到第四PD 217D。
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