[发明专利]一种光刻胶颗粒度测试装置

权利要求书

1.一种光刻胶颗粒度测试装置，其特征在于，包括：

取样管路，与光刻胶生产线连接用于输入待测光刻胶；

与所述取样管路连接的用于测试所述待测光刻胶颗粒度的颗粒仪；

所述取样管路与所述颗粒仪进样管路之间设有用于缓冲进入所述颗粒仪待测试光刻胶流量波动的缓冲管路，所述缓冲管路的直径均大于所述取样管路和所述进样管路的直径；

所述颗粒仪的出口端还设有用于调节所述颗粒仪中待测光刻胶流量参数的流量计。

2.如权利要求1所述的光刻胶颗粒度测试装置，其特征在于，

所述缓冲管路的上方设有排气孔，用于排出管路内的气泡避免进入所述颗粒仪。

3.如权利要求1或2所述的光刻胶颗粒度测试装置，其特征在于，

所述取样管路与所述缓冲管路之间设有用于分流进入所述缓冲管路待测光刻胶的回流管路。

4.如权利要求3所述的光刻胶颗粒度测试装置，其特征在于，

所述回流管路上还设有用于调节进入所述缓冲管路的待测光刻胶流量的调节阀门。

5.如权利要求3所述的光刻胶颗粒度测试装置，其特征在于，

所述回流管路的末端设有用于存放多余待测光刻胶的去储罐。

6.如权利要求1所述的光刻胶颗粒度测试装置，其特征在于，

所述流量计的出口端还设有用于回收经过测试待测光刻胶的去废液罐。

7.如权利要求1所述的光刻胶颗粒度测试装置，其特征在于，

所述颗粒仪的进口端还设有用于清洗所述光刻胶颗粒度测试装置的清洗装置。

8.如权利要求7所述的光刻胶颗粒度测试装置，其特征在于，

所述清洗装置包括：清洗液储罐、与清洗液储罐连接的清洗泵、以及与所述清洗泵连接的过滤器，所述过滤器连接有清洗液回流管路和用于冲洗所述光刻胶颗粒度测试装置的冲洗管路，所述清洗液回流管路连接所述清洗液储罐，所述冲洗管路连接所述进样管路。

9.如权利要求8所述的光刻胶颗粒度测试装置，其特征在于，

所述过滤器出口管路上设有储液罐阀门，以控制所述清洗装置处于内循环清洗模式或冲洗所述光刻胶颗粒度测试装置的冲洗模式。

10.如权利要求8所述的光刻胶颗粒度测试装置，其特征在于，

所述冲洗管路上还设有颗粒仪清洗阀门，以用于开启或关闭冲洗模式。