[发明专利]一种晶圆水平镀膜喷杯的杯体结构

权利要求书

1.一种晶圆水平镀膜喷杯的杯体结构，包括长方形喷杯底座板（1），在长方形喷杯底座板（1）上，设置有长方体形喷杯杯体（2），其特征在于，在长方体形喷杯杯体（2）内，分别设置有镀液腔体（15）和驱动机构安装腔体（16），镀液腔体（15）的右侧端与驱动机构安装腔体（16）的左侧端连通在一起，在镀液腔体（15）的顶端，设置有镀液腔体顶端口阴极定位环形圈（3），在镀液腔体顶端口阴极定位环形圈（3）上，设置有环形阴极片（4），在环形阴极片（4）上设置有环形阴极片压块（6），环形阴极片压块（6）压接在环形阴极片（4）上后，形成有阴极片内侧环形台阶（8），在阴极片内侧环形台阶（8）上搭接有被电镀的晶圆（5）；在镀液腔体（15）的底部中央的长方形喷杯底座板（1）上，设置有循环镀液输入管穿接孔（9），在循环镀液输入管穿接孔（9）中设置有循环镀液输入管（10），在镀液腔体（15）内底端的长方形喷杯底座板（1）上，设置有阳极定位安装环形台阶（11），在阳极定位安装环形台阶（11）与循环镀液输入管（10）之间，设置有环形阳极（12）；在环形阳极（12）的正上方的镀液腔体（15）中，设置有离子膜（39）；在驱动机构安装腔体（16）的顶端，设置有驱动电机输出轴下穿通孔（7）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆水平镀膜喷杯的杯体结构，其特征在于，长方体形喷杯杯体（2）是由下杯体加工块（201）和上杯体块（202）组成的，机加工完成后的长方形喷杯底座板（1）、下杯体加工块（201）和上杯体块（202），叠压后，被连接螺栓穿接在一起，在长方形喷杯底座板（1）与下杯体加工块（201）之间，设置有密封圈，在下杯体加工块（201）与上杯体块（202）之间，也设置有密封圈；在长方形喷杯底座板（1）的顶面上，设置有机加工的阳极定位安装环形台阶（11），在下杯体加工块（201）的内侧下部，分别设置有机加工的从动齿圈旋转导向轨道安装台阶（13）和主动齿圈旋转导向轨道安装台阶（17），在下杯体加工块（201）的内侧上部，分别设置有机加工的从动齿圈旋转环形槽（19）和主动齿圈旋转环形槽（18）；在上杯体块（202）的内侧下部，设置有机加工的环状倒L形定齿圈安装定位台阶（14）；在驱动机构安装腔体（16）的顶端，设置有机加工的驱动电机输出轴下穿通孔（7）。