[发明专利]一种叠加式薄片卡盘

权利要求书

1.一种叠加式薄片卡盘，其特征在于：包括

安装座(1)，作为承载主体；

膜片盘(3)，设置于安装座(1)上，其一侧表面设置有变形槽(31)，变形槽(31)使膜片盘(3)上形成外盘圈(33)和内盘圈(32)；

驱动器(2)，设置于安装座(1)上，且用于驱使膜片盘(3)的内盘圈(32)和/或外盘圈(33)沿膜片盘(3)的轴向产生弯曲；

夹头盘(4)，安装于膜片盘(3)上，其上设有若干用于对工件进行夹持的夹块(41)，所述夹块(41)在夹头盘(4)上包围形成用于供工件放入的装夹口(12)；

定位盘(5)，设置于驱动器(2)上，且位于装夹口(12)内，用于校正工件的装平度；

所述驱动器(2)包括

定心轴(21)，固定于安装座(1)上，其包括与安装座(1)相连的定心座(211)、一体设置于定心座(211)上的定心柱(212)；

驱动缸(22)，套设于定心柱(212)上且位于定心座(211)和膜片盘(3)之间，定心座(211)与驱动缸(22)、驱动缸(22)与膜片盘(3)的外盘圈(33)之间依次相连且相邻两者之间分别形成气室(221)；

活塞盘(23)，设置于气室(221)内，其包括活塞部(231)和连接部(232)，连接部(232)密封套设于定心柱(212)上，活塞部(231)位于气室(221)内，并将气室(221)分割成进气腔(222)和出气腔(223)；

其中，定位盘(5)固定于定心轴(21)的定心柱(212)上，驱动缸(22)与定心柱(212)之间形成有驱动口(15)，所述活塞盘(23)的连接部(232)密封穿设于驱动口(15)内，且连接部(232)与膜片盘(3)的内盘圈(32)相连。

2.根据权利要求1所述的叠加式薄片卡盘，其特征在于：所述定心座(211)和定心柱(212)内设置有相互连通的主进气道(8)，所述定心柱(212)和活塞盘(23)之间设置有封闭的气隙(6)，所述主进气道(8)与所述气隙(6)相连通，所述活塞盘(23)的连接部(232)上设置有进气支道(9)，所述进气支道(9)连通所述气隙(6)和气室(221)的进气腔(222)。

3.根据权利要求1或2中任一所述的叠加式薄片卡盘，其特征在于：所述驱动缸(22)和活塞盘(23)成对配合并至少设置有两组，驱动缸(22)之间依次相连且分别形成气室(221)，所述活塞盘(23)上开设有联进气道(10)，所述联进气道(10)的两端分别连通于相邻两个气室(221)的进气腔(222)。

4.根据权利要求3所述的叠加式薄片卡盘，其特征在于：所述定心座(211)上设置有主出气道(11)，所述主出气道(11)连通于定心座(211)和驱动缸(22)之间的出气腔(223)。

5.根据权利要求4所述的叠加式薄片卡盘，其特征在于：所述驱动缸(22)上开设有联出气道(16)，所述联出气道(16)的一端与主出气道(11)相连通，另一端与相邻两个驱动缸(22)之间所形成的气室(221)的出气腔(223)相连通。

6.根据权利要求1或2中任一所述的叠加式薄片卡盘，其特征在于：所述夹块(41)之间通过定位环(42)相连，所述定位环(42)在相邻所述夹头之间的部位开设有弯曲口(421)，所述弯曲口(421)使定位环(42)上形成弯曲片(422)。

7.根据权利要求1或2中任一所述的叠加式薄片卡盘，其特征在于：所述定心座(211)和定心柱(212)内开设有气检道(13)，所述定位盘(5)上设置有定位台(51)和分流气道(14)，所述分流气道(14)的一端与定位台(51)的表面相连通，另一端与气检道(13)相连通。

8.根据权利要求1至2中任一所述的叠加式薄片卡盘，其特征在于：所述夹块(41)位于装夹口(12)内的侧壁开设有用于供定位盘(5)嵌入的活动口(411)。