[发明专利]一种集成的偏振旋转调制器件及其制备方法

权利要求书

1.一种集成的偏振旋转调制器件，其特征在于，包括：

偏振旋转部分与调制部分；

其中，所述偏振旋转部分用于将入射光分解在两个相互垂直的方向，所述两个相互垂直的方向的折射率不同，以使所述入射光的偏振方向产生旋转，所述偏振旋转部分与所述调制部分的晶向不同，所述偏振旋转部分与所述调制部分均具有波导结构，在所述偏振旋转部分与所述调制部分相结合的端面，所述偏振旋转部分与所述调制部分的波导结构实现端面耦合。

2.根据权利要求1所述的偏振旋转调制器件，其特征在于，所述偏振旋转部分的晶向与长度根据入射光经过所述偏振旋转部分后所需要旋转的角度进行确定。

3.根据权利要求1所述的偏振旋转调制器件，其特征在于，所述偏振旋转部分与所述调制部分的波导结构为脊波导或体波导。

4.根据权利要求1所述的偏振旋转调制器件，其特征在于，所述偏振旋转部分与所述调制部分的晶向夹角为0度至90度。

5.根据权利要求1所述的偏振旋转调制器件，其特征在于，所述调制部分为铌酸锂体材料电光调制器或铌酸锂薄膜电光调制器。

6.根据权利要求1所述的偏振旋转调制器件，其特征在于，所述调制部分的波导为x切且使得光沿着y方向传输，或者为y切且使得光沿着x方向传输，所述偏振旋转部分的波导的端面通过以所述调制部分的波导的光传输方向为轴，顺时针或者逆时针旋转预定角度后，形成与所述偏振旋转部分的晶向差异。

7.根据权利要求6所述的偏振旋转调制器件，其特征在于，所述调制部分的波导与所述偏振旋转部分的波导其中一个为x切且光沿y方向传输，另一个为y切且光沿x方向传输。

8.一种用于制备权利要求1至7中任一项所述的偏振旋转调制器件的方法，其特征在于，包括：

制备调制部分以及指定长度的偏振旋转部分，所述指定长度根据入射光经过所述偏振旋转部分后所需要旋转的角度进行确定；

在所述调制部分以及所述偏振旋转部分制备波导结构；

将所述偏振旋转部分与所述调制部分进行集成。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，通过外延将所述偏振旋转部分与所述调制部分进行集成，或者通过键合将所述偏振旋转部分与所述调制部分进行集成，或者在预先选择的衬底上混合集成所述偏振旋转部分与所述调制部分。

10.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，通过预先制备多个不同长度的偏振旋转部分，并将入射光所需要旋转的角度与入射光经过各个不同长度的偏振旋转部分后旋转的角度进行比较，以确定所述指定长度的取值。