[发明专利]用于电路版图的热点检测方法、设备和存储介质

说明书

根据本公开的示例实施例，提供了用于电路版图的热点检测方法、设备和计算机可读存储介质。用于电路版图的热点检测方法包括生成多个子作业，以用于从电路版图中检测具有潜在缺陷的热点。每个子作业对应于电路版图的一个版图单元，并且指定要利用版图单元而执行的一个或多个操作。该方法还包括基于多个处理设备的配置信息和一个或多个操作的类型，将多个子作业分配给多个处理设备。多个处理设备中的至少一个处理设备被配置有加速处理资源。该方法进一步包括基于多个处理设备对多个子作业的检测结果，确定电路版图所包括的一个或多个热点。以此方式，能够有利地实现快速且高效的热点检测方案。

技术领域

本公开的实施例主要涉及集成电路，并且更具体地，涉及用于电路版图的热点检测方法、设备和计算机可读存储介质。

背景技术

电路版图(又可以简称为版图)是从设计并模拟优化后的电路所转化成的一系列几何图形，其包含了集成电路尺寸、各层拓扑定义等器件相关的物理信息数据。集成电路制造商根据这些数据来制造掩模。掩模上的版图图案决定着芯片上器件或连接物理层的尺寸。

随着集成电路制造工艺的技术节点的减小，集成电路中的目标图案之间的距离减小，并且掩模上与目标图案相对应的版图图案的密度增加。由于光波会在掩模的版图图案处发生衍射，导致产生某些缺陷。这些缺陷的出现，极有可能在电路的实际运行中，产生开路或短路现象，烧毁电路。在缺陷位置处的局部版图通常被称为热点(hotspot)。因此，在将电路版图转移到晶圆之前，需要对整个电路版图进行检测，以找出那些容易产生缺陷的热点。然而，对电路版图进行热点检测的过程消耗大量的计算资源和时间。

发明内容

根据本公开的示例实施例，提供了一种用于电路版图的热点检测方案。

在本公开的第一方面中，提供了一种用于电路版图的热点检测方法。该方法包括生成多个子作业，以用于从电路版图中检测具有潜在缺陷的热点。每个子作业指定要利用电路版图的一个版图单元而执行的一个或多个操作。该方法还包括基于多个处理设备的配置信息和一个或多个操作的类型，将多个子作业分配给多个处理设备。多个处理设备中的至少一个处理设备被配置有加速处理资源。该方法进一步包括基于多个处理设备对多个子作业的检测结果，确定电路版图所包括的一个或多个热点。

在本公开的第二方面中，提供了一种电子设备，包括一个或多个处理器；以及存储装置，用于存储一个或多个程序，当一个或多个程序被一个或多个处理器执行，使得一个或多个处理器执行动作。动作包括生成多个子作业，以用于从电路版图中检测具有潜在缺陷的热点。每个子作业指定要利用电路版图的一个版图单元而执行的一个或多个操作。动作还包括基于多个处理设备的配置信息和一个或多个操作的类型，将多个子作业分配给多个处理设备。多个处理设备中的至少一个处理设备被配置有加速处理资源。动作进一步包括基于多个处理设备对多个子作业的检测结果，确定电路版图所包括的一个或多个热点。

在一些实施例中，基于多个处理设备的配置信息和一个或多个操作的类型，将多个子作业分配给多个处理设备包括：基于多个处理设备的配置信息，从多个处理设备中确定第一组处理设备和第二组处理设备，第一组处理设备为未被配置有加速处理资源的一组处理设备，第二组处理设备为被配置有加速处理资源的一组处理设备；如果多个子作业中的第一组子作业仅包括非图案识别操作，则将第一组子作业分配给第一组处理设备；以及如果多个子作业中的第二组子作业包括图案识别操作，则将第二组子作业分配给第二组处理设备。

在一些实施例中，图案识别操作在非图案识别操作之前被执行。

在一些实施例中，基于多个处理设备的配置信息和一个或多个操作的类型，将多个子作业分配给多个处理设备包括：基于多个处理设备的配置信息，从多个处理设备中确定多对处理设备，每对处理设备包括未被配置有加速处理资源的第一处理设备和被配置有加速处理资源的第二处理设备；以及如果一个或多个操作包括图案识别操作和非图案识别操作，则将每个子作业分配给多对处理设备中的相应的一对处理设备，使得非图案识别操作由第一处理设备执行，并且图案识别操作由第二处理设备执行。