[发明专利]用于电路版图的热点检测方法、设备和存储介质

权利要求书

1.一种用于电路版图的热点检测方法，包括：

生成多个子作业，所述多个子作业用于从所述电路版图中检测具有潜在缺陷的热点，每个子作业指定要利用所述电路版图的一个版图单元而执行的一个或多个操作；

基于多个处理设备的配置信息和所述一个或多个操作的类型，将所述多个子作业分配给所述多个处理设备，所述多个处理设备中的至少一个处理设备被配置有加速处理资源；以及

基于所述多个处理设备对所述多个子作业的检测结果，确定所述电路版图所包括的一个或多个热点。

2.根据权利要求1所述的方法，其中基于多个处理设备的所述配置信息和所述一个或多个操作的类型，将所述多个子作业分配给所述多个处理设备包括：

基于所述多个处理设备的所述配置信息，从所述多个处理设备中确定第一组处理设备和第二组处理设备，所述第一组处理设备为未被配置有所述加速处理资源的一组处理设备，所述第二组处理设备为被配置有所述加速处理资源的一组处理设备；

如果所述多个子作业中的第一组子作业仅包括非图案识别操作，则将所述第一组子作业分配给所述第一组处理设备；以及

如果所述多个子作业中的第二组子作业包括所述图案识别操作，则将所述第二组子作业分配给所述第二组处理设备。

3.根据权利要求2所述的方法，其中所述图案识别操作在所述非图案识别操作之前被执行。

4.根据权利要求1所述的方法，其中基于多个处理设备的所述配置信息和所述一个或多个操作的类型，将所述多个子作业分配给所述多个处理设备包括：

基于所述多个处理设备的所述配置信息，从所述多个处理设备中确定多对处理设备，每对处理设备包括未被配置有所述加速处理资源的第一处理设备和被配置有所述加速处理资源的第二处理设备；以及

如果所述一个或多个操作包括图案识别操作和非图案识别操作，则将所述每个子作业分配给所述多对处理设备中的相应的一对处理设备，使得所述非图案识别操作由所述第一处理设备执行，并且所述图案识别操作由所述第二处理设备执行。

5.根据权利要求1所述的方法，其中生成所述多个子作业包括：

针对所述多个子作业中的所述每个子作业，获得所述版图单元的几何图形信息，所述几何图形信息指示所述版图单元所包括的各个几何图形对几何图形组合的从属关系；

基于所述几何图形信息，从所述几何图形组合中确定多个图案，每个图案包括根据所述几何图形信息确定属于该图案的至少一个几何图形；以及

设置所述每个子作业以对所述多个图案执行图案测量操作，所述图案测量操作与所述版图单元中的潜在缺陷有关，并且属于所述一个或多个操作。

6.根据权利要求5所述的方法，其中设置所述每个子作业以指定对所述多个图案执行所述图案测量操作包括：

如果所述多个图案中包括属于相同类型的一组图案，则从所述一组图案中选择参考图案；

设置所述每个子作业以：

对所述参考图案执行所述图案测量操作，以获得对所述参考图案的测量结果；并且

通过将所述测量结果应用于所述一组图案中除所述参考图案之外的其余图案，对所述其余图案执行所述图案测量操作。

7.根据权利要求1所述的方法，其中所述一个或多个操作包括以下至少一项：

用于变换所述版图单元的图案卷积操作，

与所述版图单元中的潜在缺陷有关的图案测量操作，或

对所述版图单元的图案识别操作。

8.根据权利要求1所述的方法，其中所述加速处理资源被可移除地配置给所述至少一个处理设备。