[发明专利]基板处理装置和系统、半导体器件的制造方法及记录介质

权利要求书

1.一种基板处理装置，其具备：

处理基板的处理部；

收发部，其以可通信的方式与群管理装置连接，且与所述群管理装置之间仅收发电文数据；以及

控制部，其构成为能够基于由所述收发部接收到的电文数据，控制由所述处理部进行的处理。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，

所述控制部具有对由所述收发部接收到的电文数据的校验功能。

3.根据权利要求2所述的基板处理装置，其中，

具有存储记录有所述电文数据的数据大小的表数据的表存储部，

所述控制部构成为利用所述校验功能判断由所述收发部接收到的电文数据的数据大小与记录于所述表数据的数据大小是否一致。

4.根据权利要求2所述的基板处理装置，其中，

所述控制部构成为在基于所述校验功能的判断结果为错误的情况下，使所述收发部发送错误数据。

5.根据权利要求3所述的基板处理装置，其中，

所述控制部构成为在基于所述校验功能的判断结果为错误的情况下，使所述收发部发送错误数据。

6.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，

所述收发部连接于能够以包含所述电文数据的通信协议在内的多个协议与上位装置进行通信的所述群管理装置。

7.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，

具有程序存储部，该程序存储部存储规定由所述处理部进行的处理的处理程序，

所述控制部构成为基于由所述收发部接收到的电文数据，从所述程序存储部读取并执行与该电文数据对应的处理程序。

8.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，

所述电文数据由文本数据构成。

9.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，

所述电文数据包括大小数据。

10.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，

所述电文数据以规定大小构成。

11.一种基板处理系统，其具备：

权利要求1所述的基板处理装置；以及

以可通信的方式与所述基板处理装置连接的群管理装置。

12.根据权利要求11所述的基板处理系统，其中，

具有能够以包含所述电文数据的通信协议在内的多个协议与所述群管理装置进行通信的上位装置，所述群管理装置从所述上位装置接收包括所述电文数据在内的多种数据，仅将所述多种数据中的所述电文数据发送至所述收发部。

13.一种半导体器件的制造方法，其包括如下的工序：

在处理基板的基板处理装置和以可通信的方式与所述基板处理装置连接的群管理装置之间仅收发电文数据；以及

基于由所述基板处理装置接收到的电文数据控制由所述基板处理装置进行的处理。

14.根据权利要求13所述的半导体器件的制造方法，其中，

具有对由所述基板处理装置接收到的所述电文数据进行校验的工序。

15.根据权利要求14所述的半导体器件的制造方法，其中，

在所述校验的工序中，判断记录有所述电文数据的数据大小的表数据的所述数据大小、与所接收到的所述电文数据的数据大小是否一致。

16.根据权利要求14所述的半导体器件的制造方法，其中，

在所述校验的工序中，具有在作为所述判断的结果而判断为错误的情况下发送错误数据的工序。