[发明专利]基于电子的全息图的改进重建算法在审

专利信息
申请号: 202011486243.2 申请日: 2020-12-16
公开(公告)号: CN112987533A 公开(公告)日: 2021-06-18
发明(设计)人: 刘坤;A·巴姆;M·斯特劳 申请(专利权)人: FEI公司
主分类号: G03H5/00 分类号: G03H5/00
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 张凌苗;周学斌
地址: 美国俄*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 基于 电子 全息图 改进 重建 算法
【说明书】:

基于电子的全息图的改进重建算法。本文公开了用于基于电子的全息图的改进重建的设备和方法。一种实例方法至少包括:形成样品和已知对象的全息图;使用重建算法形成所述已知对象的重建;将所述已知对象的所述重建与所述已知对象的参考重建进行比较;并且基于所述已知对象的所述重建与所述已知对象的所述参考重建的比较来调整所述重建算法。所述实例方法可进一步包含使用调整后的重建算法来形成所述样品的重建。

技术领域

发明大体上涉及全息术,且确切地说,涉及基于调整的基准件重建算法的改进重建。

背景技术

由于潜在的分辨率和工艺的精细性,全息系统越来越受到关注。基于电子的全息系统具有提供对自然状态生物分子的洞察力的潜力,但可能会受到可变的系统参数的影响,所述系统参数会对任何得到的重建造成负面影响。所关注的可变系统参数通常会向系统注入会对全息图(数据)造成不良影响的噪声,所述噪声会持续存在于重建(分析)过程中。虽然已做出对解决噪声的尝试,但这些尝试仍具有缺点。因此,需要考虑此类变量,以便获得改进的、更精确的重建。

发明内容

本文公开了用于基于电子的全息图的改进重建的设备和方法。一种实例方法至少包含:形成样品和已知对象的全息图;使用重建算法形成所述已知对象的重建;将所述已知对象的所述重建与所述已知对象的参考重建进行比较;并且基于所述已知对象的所述重建与所述已知对象的所述参考重建的比较来调整所述重建算法。实例方法可进一步包含使用调整后的重建算法来形成样品的重建。

一种实例设备至少包含:被联接以提供电子束的电子发射器;被布置为用以在所述电子束与样品和基准件相互作用之后接收所述电子束的检测器;以及至少联接到所述检测器以接收由所述检测器获取的所述样品和基准件的全息图的控制器。另外,控制器至少包含代码,所述代码在执行时使控制器:使用重建算法形成基准件的重建;将所述基准件的所述重建与所述基准件的已知重建进行比较;并且基于所述比较调整所述重建算法。控制器进一步包含代码,所述代码在执行时使所述控制器使用调整后的重建算法来形成样品的重建。

附图说明

图1是根据本公开的实施例的实例样品制备和分析系统。

图2是根据本公开的实施例的用于获取样品的全息图的实例数据收集子系统。

图3包含实例图像。

图4是根据本公开的实施例的用于获得基准件的重建以使得获得样品的更准确重建的实例方法。

图5是根据本公开的实施例的实例图像序列。

图6是根据本公开的实施例的实例功能框图。

贯穿图式的若干视图,相同的附图标记指代对应部分。

具体实施方式

下面在点投影同轴全息术的背景下描述本发明的实施例,且更确切地说,旨在通过在全息过程中结合基准件来提供更准确的重建。例如,基于电子的全息术获取校准对象以及样品的全息图,并且使用所述校准对象的重建来调整所述样品的重建。调整后的重建随后提供全息图的更准确的重建。通常,对重建算法进行的调整考虑了可以影响全息图的可变系统参数,例如振动噪声、全息系统的放大率和电子束的相干性,仅举几例。

除非上下文另外明确规定,否则如本说明书和权利要求书中所用,单数形式“一(a/an)”和“所述”包含复数形式。另外,术语“包含”意指“包括”。此外,术语“联接”不排除联接项之间存在中间元件。

在本文中所描述的系统、设备和方法不应解释为以任何方式进行限制。实际上,本公开针对各个所公开实施例的所有新颖和非显而易见的特征和方面,无论是单独地还是以彼此形成的各种组合和子组合。所公开的系统、方法和设备不限于任何特定方面或特征或其组合,所公开的系统、方法和设备也不要求存在任何一个或多个特定优点或解决任何一个或多个特定问题。任何操作理论均是为了便于阐释,但本公开的系统、方法和设备不限于这类操作理论。

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