[发明专利]一种旋转硅靶材薄壁深孔掏孔装置

权利要求书

1.一种旋转硅靶材薄壁深孔掏孔装置，其特征在于，该装置包括设备立式机架、由步进电机驱动的左滚珠丝杠导轨套装、由手轮旋转驱动的右滚珠丝杠导轨套装、上中下3个托板、4套中心自动定位找正装置6a、6b、6c、6d、掏孔磨削刀具及变频调速减速电机、冲洗冷却水系统、操作电控系统；所述设备立式机架由基础大底板、两根立柱和数条弧形加强筋板构成，通过螺纹连接方式固定；所述2套左、右滚珠丝杠导轨套装面对面颠倒安装置于两立柱内侧，每套滚珠丝杠导轨均配置2个滑台，一个由丝杠旋转驱动上下移动，一个无丝杠驱动只依靠直线导轨上下自由滑动；上托板通过角板一端连接丝杠驱动滑台，一端连接另一个无滚珠丝杠的直线导轨自由滑台，作为刀具上下进给支撑托板，由步进电机驱动滚珠丝杠旋转带动上托板上下移动；中托板同样通过角板一端连接丝杠驱动滑台，一端连接另无滚珠丝杠的直线导轨自由滑台，作为工件长度不同调节夹持锁紧支撑托板，由手轮旋转驱动滚珠丝杠旋转带动中托板上下移动。

2.如权利要求1所述的旋转硅靶材薄壁深孔掏孔装置，其特征在于，所述中心自动定位找正装置每套由3组定位滚轮副、3组调整块组及中心定位盘、锁紧盘、螺栓锁紧器组成，定位滚轮副与调整块组通过螺栓固定连接，调整块组在中心定位盘圆周均布三个T形槽内滑动，锁紧盘置于中心定位盘圆下部第二个台阶处，锁紧盘上设置三道均匀分布的平滑圆弧槽体和一个垂直中心短条孔，3组调整块组的下调整滑块尾柱和螺栓锁紧器的螺孔滑柱柱体，分别穿过中心定位盘置于平滑圆弧槽体内和短条孔内。

3.如权利要求2所述的旋转硅靶材薄壁深孔掏孔装置，其特征在于，所述中心自动定位找正装置，2套中心自动定位找正装置6a、6b作为刀具上下夹持导向装置，分别置于上托板下部及中拖板上部，通过3个聚氨酯滚轮同时向中心移动自动使刀具沿垂直中心定位，滚轮随刀具外圆旋转，减少超长刀具旋转摆动量，稳定控制振幅；2套中心自动定位找正装置6c、6d作为工件上下位置夹持定位装置，分别置于中托板下部及下拖板上，同样通过3个聚氨酯固定轮夹持工件外圆，工件自动沿垂直中心找正定位。

4.如权利要求2所述的旋转硅靶材薄壁深孔掏孔装置，其特征在于，所述中心自动定位找正装置夹持刀具或工件分两个步骤：第一步是将3组调整块组的上调整块与下调整滑块上的锯齿啮合定位，调整成一致伸缩量尺寸，并用螺栓连接紧固；3组定位滚轮副安装于调整块组之上，安装位置也有等间距三个位置，可作为调整伸缩量的一部分，3组定位滚轮副包围的内径尺寸大于刀具或工件外圆直径10mm左右；第二步是通过螺栓锁紧器的长螺栓旋转使螺孔滑柱做直线运动，螺孔滑柱柱体带动锁紧盘旋转，锁紧盘三道圆弧槽带动3组调整块组在中心定位盘T型槽同时向中心移动，使3组定位滚轮副同时向中心或反向运动，达到自动找正中心夹持刀具或工件外圆目的。

5.如权利要求2所述的旋转硅靶材薄壁深孔掏孔装置，其特征在于，所述调整块组的锯齿啮合调节伸缩量为0-60mm，所述定位滚轮副安装于调整块组的等间距三处位置调节伸缩量为25或50mm，所述锁紧盘上的平滑圆弧槽锁紧量为0-28mm，满足中心自动定位找正装置夹持刀具直径范围为Ф130-380mm，夹持工件直径范围为Ф150-400mm。

6.如权利要求3所述的旋转硅靶材薄壁深孔掏孔装置，其特征在于，所述2套中心自动定位找正装置6a、6b，置于上托板下部和中托板上部，安装的中心自动定位找正装置滚轮副位置错位60°，使刀具掏孔进入工件后期，上下各3组滚轮副在高度上可插入重合，减少定制刀具的长度。