[发明专利]一种去除钼材质表面金属导电薄膜的清洗方法

权利要求书

1.一种去除钼材质表面金属导电薄膜的清洗方法，其特征在于，其步骤如下：

(1)来料检查

对待清洗钼材质部件进行外观检查，确认有无缺损；

(2)纯水冲洗

使用水枪对清洗钼材质部件进行全面冲洗，去除钼材质部件表面疏松的膜层；

(3)盐酸浸泡

将待清洗部件浸入盐酸溶液中，盐酸溶液中盐酸和水的体积配比为1:1，浸泡1小时以上，去除钼材质部件表面附着的膜层，取出后立即使用纯水冲洗，冲洗时间3分钟；

(4)乙二酸浸泡

将经步骤(3)盐酸浸泡并冲洗后的钼材质部件浸入乙二酸溶液中，乙二酸溶液中乙二酸和水的体积配比为1:2，浸泡10分钟，去除钼材质部件表面残留膜层，取出后立即使用纯水冲洗，冲洗时间3分钟；

(5)表面喷砂

对经步骤(4)清洗完毕后的钼材质部件采用喷砂机进行喷砂处理，喷砂时间为3-5分钟，去除钼材质部件表面氧化层，喷砂机的参数如下：压力为4-5kg/cm²，喷砂枪头与部件距离为15-20厘米，角度60-90度，喷砂介质为氧化硅；

(6)硝酸和氢氟酸浸泡

将喷砂完毕的钼材质部件浸入硝酸和氢氟酸的混合溶液中，硝酸和氢氟酸的混合溶液中硝酸、氢氟酸和水的体积配比为1:1:98，浸泡3-5分钟，然后立即取出，使用纯水进行冲洗；

(7)纯水浸泡

将经步骤(6)清洗完毕后的钼材质部件浸入纯水中浸泡30分钟以上，然后使用压缩空气吹干部件表面的水迹；

(8)超声波清洗

将步骤(7)吹干水迹后的钼材质部件流转至100级洁净间，然后将钼材质部件放入超声波清洗槽中，清洗30分钟，每15分钟翻转一次部件，超声波频率为40KHz，超声波功率密度为8-12瓦/平方英寸，清洗槽内纯水保持溢流；

(9)氮气吹扫

对步骤(8)中超声波清洗完毕的钼材质部件，使用纯度为99.999％的氮气进行表面吹扫，去除钼材质部件表面的水迹；

(10)干燥

将步骤(9)中吹扫完毕的钼材质部件转移至洁净的干燥箱中，干燥3个小时，待钼材质部件自然冷却后，将钼材质部件取出即可。

2.根据权利要求1所述的一种去除钼材质表面金属导电薄膜的清洗方法，其特征在于，所述步骤(3)中盐酸溶液浸泡温度为20-40℃。

3.根据权利要求1所述的一种去除钼材质表面金属导电薄膜的清洗方法，其特征在于，所述步骤(4)中的乙二酸溶液浸泡温度为20-40℃。

4.根据权利要求1所述的一种去除钼材质表面金属导电薄膜的清洗方法，其特征在于，所述步骤(5)中氧化硅的粒径为0.03-0.5毫米。

5.根据权利要求1所述的一种去除钼材质表面金属导电薄膜的清洗方法，其特征在于，所述步骤(5)中氧化硅的粗糙度要求为0.5-1.0微米。

6.根据权利要求1所述的一种去除钼材质表面金属导电薄膜的清洗方法，其特征在于，所述步骤(8)中清洗槽内纯水的溢流流量为20L/min。

7.根据权利要求1所述的一种去除钼材质表面金属导电薄膜的清洗方法，其特征在于，所述步骤(10)中干燥箱的干燥温度为150℃。