[发明专利]一种用于电子气体一氟甲烷中的杂质组分分析系统

说明书

本发明公开了一种用于电子气体一氟甲烷中的杂质组分分析系统，包括第一切换阀、第二切换阀、第三切换阀、第四切换阀、第五切换阀，第一定量环、第二定量环、第一色谱柱、第二色谱柱、第三色谱柱、第四色谱柱、第五色谱柱、第一针型阀、第二针型阀、第三针型阀、第四针型阀、第一脉冲放电氦离子化检测器和第二脉冲放电氦离子化检测器。本发明，可以检测一氟甲烷中的氢气、氧气、氩气、氮气、甲烷、一氧化碳、四氟化碳、二氧化碳、乙烷、乙烯、三氟甲烷、丙烷、丙烯组分，检测限可达ppb级别。

技术领域

本发明涉及杂质分析系统技术领域，具体为一种用于电子气体一氟甲烷中的杂质组分分析系统。

背景技术

一氟甲烷（CH₃F）为无色易燃的气体，易溶于醇、醚。高纯一氟甲烷是一种绿色高效的电子特气，常用于半导体及电子产品的刻蚀，对硅化物薄膜的刻蚀选择性好。而一氟甲烷中的杂质组分影响其实用效果，为此设计出一种电子气体一氟甲烷中的氢气、氧气、氩气、氮气、甲烷、一氧化碳、四氟化碳、二氧化碳、乙烷、乙烯、三氟甲烷、丙烷、丙烯组分的分析方法。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于电子气体一氟甲烷中的杂质组分分析系统，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于电子气体一氟甲烷中的杂质组分分析系统，包括第一切换阀、第二切换阀、第三切换阀、第四切换阀、第五切换阀，第一定量环、第二定量环、第一色谱柱、第二色谱柱、第三色谱柱、第四色谱柱、第五色谱柱、第一针型阀、第二针型阀、第三针型阀、第四针型阀、第一脉冲放电氦离子化检测器和第二脉冲放电氦离子化检测器，所述第一切换阀的一号接口通过气路管道与样品进口连接，所述第一切换阀的二号接口通过气路管道与第二切换阀的一号接口连接，所述第一切换阀的三号接口通过气路管道与其十号接口连接，所述第一定量环设置在第一切换阀的三号接口与其十号接口连接的气路管道上，所述第一切换阀的四号接口通过气路管道与第一载气连接，所述第一切换阀的五号接口通过气路管道与其九号接口连接，所述第一色谱柱设置在第一切换阀的五号接口与其九号接口连接的气路管道上，所述第一切换阀的六号接口通过气路管道与第四切换阀的二号接口连接，所述第一切换阀的七号接口通过气路管道与第二载气连接，所述第一切换阀的八号接口通过气路管道与第一针型阀连接，所述第二切换阀的二号接口通过气路管道与样品出口连接，所述第二切换阀的三号接口通过气路管道与其六号接口连接，所述第二定量环设置在第二切换阀的三号接口与其六号接口连接的气路管道上，所述第二切换阀的四号接口通过气路管道与第二色谱柱的进气口连接，所述第二切换阀的五号接口通过气路管道与第三载气连接，所述第三切换阀的一号接口通过第一短接气路管道与其六号接口连接，所述第三切换阀的二号接口通过气路管道与第二针型阀连接，所述第三切换阀的三号接口通过气路管道与第四载气连接，所述第三切换阀的四号接口通过气路管道与第三色谱柱的进气口连接，所述第三色谱柱的出气口通过气路管道与第一脉冲放电氦离子化检测器连接，所述第三切换阀的五号接口通过气路管道与第二色谱柱的出气口连接，所述第四切换阀的一号接口通过气路管道与第四色谱柱的进气口连接，所述第四切换阀的二号接口通过气路管道与第一切换阀的六号接口连接，所述第四切换阀的三号接口通过气路管道与第五色谱柱的进气口连接，所述第四切换阀的四号接口通过气路管道与第六载气连接，所述第四切换阀的五号接口通过气路管道与第三针型阀连接，第四切换阀的六号接口通过气路管道与第五载气连接，所述第五切换阀的一号接口通过第二短接气路管道与其六号接口连接，所述第五切换阀的二号接口通过气路管道与第四针型阀连接，所述第五切换阀的三号接口通过气路管道与第四色谱柱的出气口连接，所述第五切换阀的四号接口通过气路管道与第二脉冲放电氦离子化检测器连接，所述第五切换阀的五号接口通过气路管道与第五色谱柱的出气口连接。

优选的，所述第一切换阀采用十通阀，所述第二切换阀、第三切换阀、第四切换阀、第五切换阀采用六通阀。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：