[发明专利]一种屏下指纹器件的制备方法、指纹器件及指纹识别屏幕

说明书

本申请适用于器件工艺技术领域，提供了一种屏下指纹器件的制备方法、指纹器件及指纹识别屏幕，所述屏下指纹器件包括多个设于玻璃基板上的光感薄膜晶体管，其中，所述光感薄膜晶体管中的有源层表面形成有微结构，解决了非晶硅对光敏感性不够的问题。

技术领域

本发明属于器件工艺技术领域，尤其涉及一种屏下指纹器件的制备方法、指纹器件及指纹识别屏幕。

背景技术

随着信息时代的加速推进，显示器件在信息技术的发展过程中占据了十分重要的地位，各类仪器仪表上的显示屏为人们的日常生活和工作提供着大量的信息。没有显示器，就不会有当今迅猛发展的信息技术。显示器集电子、通信和信息处理技术于一体,被认为是电子工业在20世纪微电子、计算机之后的又一重大发展机会。TFT-LCD(Thin filmtransistor-liquid crystal display)因亮度好、对比度高、层次感强、颜色鲜艳、制作简单、性能稳定等特点，在生活和工作中已经被广泛应用。

为了提高智能终端的安全性和实用性，指纹识别技术应运而生。为了改善智能终端的美观和提高屏幕的屏占比，屏下指纹技术逐渐走入了人们的视野。但是目前大多数屏下指纹设备都是在屏下安装CMOS传感器,然后利用光电反射技术，反射不同手指的不同光线纹路，这些反射光线再穿透屏幕，到达指纹Sensor，从而实现指纹识别。该传感器不仅会增加智能终端的厚度，而且灵敏度有待提高。TFT(Thin Film Transistor)作为显示器各像素的驱动开关，在显示器内部起着非常重要的作用。同时TFT还可以作为光感器件，但是非晶硅对光敏感性不够而未得到广泛的应用。

发明内容

本发明提供一种屏下指纹器件的制备方法、指纹器件及指纹识别屏幕，旨在解决非晶硅对光敏感性不够的问题。

本发明实施例的第一方面提供了一种屏下指纹器件，所述屏下指纹器件包括多个设于玻璃基板上的光感薄膜晶体管，其中，所述光感薄膜晶体管中的有源层表面形成有微结构。

可选的，每个所述光感薄膜晶体管包括设于所述玻璃基板上的栅极层、设于所述栅极层上的绝缘层、设于所述绝缘层上的有源层以及设于所述有源层上的源极和漏极。

可选的，所述微结构为飞秒激光器对所述光感薄膜晶体管中的有源层进行辐射形成。

可选的，所述有源层为非晶硅。

可选的，所述绝缘层为氮化硅。

可选的，多个所述光感薄膜晶体管呈阵列设置。

本申请实施例还提供了一种指纹识别屏幕，所述指纹识别屏幕包括玻璃基板，以及如上述任一项所述的屏下指纹器件，所述屏下指纹器件设于所述玻璃基板上。

可选的，所述屏下指纹器件包括多个设于玻璃基板上的光感薄膜晶体管，所述制备方法包括：

在制备所述光感薄膜晶体管的过程中采用飞秒激光脉冲辐射所述有源层，以在所述有源层的表面形成微结构。

可选的，在制备所述光感薄膜晶体管的过程中采用飞秒激光脉冲辐射所述有源层包括：

在所述玻璃基板上依序形成栅极层、绝缘层以及有源层，并采用飞秒激光脉冲辐射所述有源层，以在所述有源层的表面形成微结构。

可选的，采用飞秒激光脉冲辐射所述有源层包括：

在制备所述有源层的过程中，每隔预设的时间间隔采用飞秒激光脉冲辐射所述有源层。

本发明实施例提供了一种屏下指纹器件的制备方法、指纹器件及指纹识别屏幕，所述屏下指纹器件包括多个设于玻璃基板上的光感薄膜晶体管，其中，所述光感薄膜晶体管中的有源层表面形成有微结构，解决了非晶硅对光敏感性不够的问题。

附图说明

图1为本发明一实施例提供的屏下指纹器件的示意图。