[发明专利]一种屏下指纹器件的制备方法、指纹器件及指纹识别屏幕

权利要求书

1.一种屏下指纹器件，其特征在于，所述屏下指纹器件包括多个设于玻璃基板上的光感薄膜晶体管，其中，所述光感薄膜晶体管中的有源层表面形成有微结构。

2.如权利要求1所述的屏下指纹器件，其特征在于，每个所述光感薄膜晶体管包括设于所述玻璃基板上的栅极层、设于所述栅极层上的绝缘层、设于所述绝缘层上的有源层以及设于所述有源层上的源极和漏极。

3.如权利要求1所述的屏下指纹器件，其特征在于，所述微结构为飞秒激光器对所述光感薄膜晶体管中的有源层进行辐射形成。

4.如权利要求1所述的屏下指纹器件，其特征在于，所述有源层为非晶硅。

5.如权利要求1所述的屏下指纹器件，其特征在于，所述绝缘层为氮化硅。

6.如权利要求1所述的屏下指纹器件，其特征在于，多个所述光感薄膜晶体管呈阵列设置。

7.一种指纹识别屏幕，其特征在于，所述指纹识别屏幕包括玻璃基板，以及如权利要求1-6任一项所述的屏下指纹器件，所述屏下指纹器件设于所述玻璃基板上。

8.一种屏下指纹器件的制备方法，其特征在于，所述屏下指纹器件包括多个设于玻璃基板上的光感薄膜晶体管，所述制备方法包括：

在制备所述光感薄膜晶体管的过程中采用飞秒激光脉冲辐射所述有源层，以在所述有源层的表面形成微结构。

9.如权利要求8所述的制备方法，其特征在于，在制备所述光感薄膜晶体管的过程中采用飞秒激光脉冲辐射所述有源层包括：

在所述玻璃基板上依序形成栅极层、绝缘层以及有源层，并采用飞秒激光脉冲辐射所述有源层，以在所述有源层的表面形成微结构。

10.如权利要求8所述的制备方法，其特征在于，采用飞秒激光脉冲辐射所述有源层包括：

在制备所述有源层的过程中，每隔预设的时间间隔采用飞秒激光脉冲辐射所述有源层。