[发明专利]一种机械手臂及晶圆抓取装置

说明书

本发明提供一种机械手臂及晶圆抓取装置，包括：机械手臂本体，机械手臂本体包括主体部和两个叉臂部，主体部上具有第一固定部。每个叉臂部末端具有第二支撑部和第二固定部，第二固定部与第二支撑部具有高度差，以使第二固定部和第一固定部固定晶圆；第二支撑部的上表面朝一侧面向第二固定部的高度延伸方向倾斜，以使晶圆沿着朝一侧面倾斜的上表面逐渐移动至第二支撑部的顶部，避免晶圆的移动路线发生偏移。而且由于第二固定部与第二支撑部具有一定的高度差，使得第二固定部能够有效阻挡晶圆，并与第一固定部固定晶圆，避免晶圆在移动过程中移出叉臂部，提高晶圆的抓取成功率。

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，特别涉及一种机械手臂及晶圆抓取装置。

背景技术

在半导体集成电路的制造工艺中，经常需要通过机械手臂进行晶圆的搬运，在晶圆加工系统中包含两类晶圆搬运机械手：大气机械手(FI robot)和真空机械手(Vacuumrobot)。前者将晶圆从晶圆盒中取出并放到预对准设备上。后者将晶圆从预对准设备上取下，搬运到各个工位进行刻蚀等工艺流程加工，并将加工完的晶圆搬运到接口位置，等待大气机械手放回晶圆盒。

机械手臂在搬运晶圆时都要进行抓取操作，在抓取晶圆的过程中晶圆与机械手臂之间的偏移会导致抓取失败，降低生产效率。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种机械手臂及晶圆抓取装置，避免晶圆与机械手臂之间发生偏移，提高抓取成功率。

为实现上述目的，本发明有如下技术方案：

一种机械手臂，包括：

机械手臂本体，所述机械手臂本体包括主体部和分别与所述主体部连接的两个叉臂部；所述主体部上具有第一固定部；

每个所述叉臂部末端具有第二固定部和第二支撑部，所述第二固定部相对于所述第二支撑部具有高度差，以使所述第二固定部和所述第一固定部固定晶圆，所述第二支撑部用于支撑所述晶圆；

所述第二支撑部的上表面朝一侧面向所述第二固定部的高度延伸方向倾斜，所述侧面为所述第二支撑部靠近所述第二固定部的表面。

可选的，所述高度差范围为1mm～1.8mm。

可选的，所述上表面的坡度范围为3°～15°。

可选的，所述第二支撑部和所述第二固定部接触，且所述侧面为所述第二支撑部和所述第二固定部的接触面。

可选的，所述第二支撑部、所述第二固定部和所述叉臂部为一体结构。

可选的，所述第一固定部用于推动所述晶圆向所述第二固定部移动。

可选的，所述第二支撑部为棱锥结构或斜棱柱结构，所述棱锥结构或所述斜棱柱结构的至少一个侧面作为所述第二支撑部的上表面。

可选的，所述棱锥结构或所述斜棱柱结构的两个侧面作为所述第二支撑部的上表面。

一种晶圆抓取装置，包括：

如上述所述的机械手臂；

与所述机械手臂连接的激光遮断器，所述激光遮断器上设置有凹槽；

晶圆传感器，所述晶圆传感器上设置有凹槽；当所述激光遮断器上的凹槽与所述晶圆传感器上的凹槽对准时，所述晶圆被第一固定部和第二固定部固定。

可选的，所述激光遮断器与所述第一固定部连接，所述第一固定部在推动所述晶圆移动时带动所述激光遮断器移动。