[发明专利]一种机械手臂及晶圆抓取装置在审
| 申请号： | 202011417334.0 | 申请日： | 2020-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN112542412A | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 陈炤颖;雷少君;胡聪;卢山 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 杨丽爽 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 机械 手臂 抓取 装置 | ||
1.一种机械手臂，其特征在于，包括：
机械手臂本体，所述机械手臂本体包括主体部和分别与所述主体部连接的两个叉臂部；所述主体部上具有第一固定部；
每个所述叉臂部末端具有第二固定部和第二支撑部，所述第二固定部相对于所述第二支撑部的具有高度差，以使所述第二固定部和所述第一固定部固定晶圆，所述第二支撑部用于支撑所述晶圆；
所述第二支撑部的上表面朝一侧面向所述第二固定部的高度延伸方向倾斜，所述侧面为所述第二支撑部靠近所述第二固定部的表面。
2.根据权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，所述高度差范围为1mm～1.8mm。
3.根据权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，所述上表面的坡度范围为3°～15°。
4.根据权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，所述第二支撑部和所述第二固定部接触，且所述侧面为所述第二支撑部和所述第二固定部的接触面。
5.根据权利要求1-4任意一项所述的机械手臂，其特征在于，所述第二支撑部、所述第二固定部和所述叉臂部为一体结构。
6.根据权利要求1-4任意一项所述的机械手臂，其特征在于，所述第一固定部用于推动所述晶圆向所述第二固定部移动。
7.根据权利要求1-4任意一项所述的机械手臂，其特征在于，所述第二支撑部为棱锥结构或斜棱柱结构，所述棱锥结构或所述斜棱柱结构的至少一个侧面作为所述第二支撑部的上表面。
8.根据权利要求7所述的机械手臂，其特征在于，所述棱锥结构或所述斜棱柱结构的两个侧面作为所述第二支撑部的上表面。
9.一种晶圆抓取装置，其特征在于，包括：
如权利要求1-8任意一项所述的机械手臂；
与所述机械手臂连接的激光遮断器，所述激光遮断器上设置有凹槽；
晶圆传感器，所述晶圆传感器上设置有凹槽；当所述激光遮断器上的凹槽与所述晶圆传感器上的凹槽对准时，所述晶圆被第一固定部和第二固定部固定。
10.根据权利要求9所述的装置，其特征在于，所述激光遮断器与所述第一固定部连接，所述第一固定部在推动所述晶圆移动时带动所述激光遮断器移动。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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