[发明专利]微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风

权利要求书

1.一种微型麦克风防尘装置，包括支撑载体和设置在所述支撑载体上的防尘膜；其特征在于，

所述支撑载体包括支撑固定所述防尘膜的固定部以及设置在所述固定部中心位置的通孔；

在所述固定部上设置有自所述固定部凸出并穿过所述防尘膜的定位部，在所述微型麦克风的制造过程中，所述定位部与所述防尘膜一侧的基板接触定位。

2.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，

所述定位部设置有至少一个，且所述定位部关于所述防尘膜的中心呈均匀或对称分布。

3.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，

在平行于所述防尘膜的方向上，所述定位部的截面形状为圆形、长方形、三角形或者弧形。

4.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，

所述定位部设置有一个，且所述定位部为包围所述防尘膜的连续结构。

5.如权利要求4所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，

所述定位部的形状为圆形、弧形、眉型、长方形或者具有至少五个边的规则多边形。

6.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，

在所述微型麦克风的制造过程中，在基板上设置牺牲层，所述防尘膜形成在所述牺牲层远离所述基板的一侧；

所述支撑载体设置在所述防尘膜远离所述牺牲层的一侧；并且，所述定位部穿过所述牺牲层后与所述基板固定连接。

7.如权利要求6所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，

所述定位部的高度不小于所述防尘膜与所述牺牲层的厚度之和。

8.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，

所述防尘膜包括边缘部和设置在所述边缘部中心位置的过滤网；

所述边缘部固定在所述固定部上并避让所述定位部设置，所述过滤网悬设在所述通孔内。

9.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，

所述定位部与所述支撑载体为一体成型结构或是不同材料构成。

10.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括如权利要求1至9任一项所述的微型麦克风防尘装置；其中，

所述微型麦克风防尘装置设置在所述MEMS麦克风的声孔处；或者，所述微型麦克风防尘装置设置在所述MEMS麦克风的芯片处。