[发明专利]超薄片固定装置及方法

权利要求书

1.一种超薄片固定装置，其特征在于：包括固定底座和定位基板，所述固定底座的上表面设有与所述定位基板的形状相适配的定位槽，所述定位基板安装于所述定位槽的内部；所述定位基板的上表面为设有用于固定超薄片的液膜。

2.根据权利要求1所述的超薄片固定装置，其特征在于：所述定位基板的上表面为抛光平面；所述定位基板的下表面为抛光平面。

3.根据权利要求1所述的超薄片固定装置，其特征在于：所述液膜采用去离子水和乙醇的混合液制成；或所述液膜采用去离子水和甲醇的混合液制成；或所述液膜采用去离子水和异丙醇的混合液制成。

4.根据权利要求1所述的超薄片固定装置，其特征在于：所述液膜的表面张力为22mN/m～73mN/m。

5.根据权利要求1所述的超薄片固定装置，其特征在于：所述定位基板为矩形板；所述定位槽为与所述定位基板的形状相适配的矩形凹槽，所述矩形凹槽的底面为抛光平面。

6.根据权利要求5所述的超薄片固定装置，其特征在于：在所述矩形凹槽的四个侧壁上分别设有注液孔，各所述注液孔分别沿水平方向延伸设置；各所述注液孔的一端分别与所述定位槽相连通，各所述注液孔的另一端分别贯穿所述固定底座的外侧壁。

7.根据权利要求6所述的超薄片固定装置，其特征在于：所述注液孔相对于所述定位槽的底面的设置高度大于所述定位基板与所述液膜的厚度之和。

8.根据权利要求1至7任一项所述的超薄片固定装置，其特征在于：还包括三轴位移调节平台，所述固定底座安装在所述三轴位移调节平台上。

9.根据权利要求1至7任一项所述的超薄片固定装置，其特征在于：所述定位基板的厚度为1mm～20mm；所述液膜的厚度为50nm～200nm。

10.一种超薄片固定方法，其特征在于：采用如权利要求1至9任一项所述的超薄片固定装置，具体包括如下步骤：

将定位基板装入固定底座的定位槽中；

配置出表面张力为22mN/m～73mN/m的混合液；其中所述混合液采用去离子水和乙醇混合而成，或所述混合液采用去离子水和甲醇混合而成，或所述混合液采用去离子水和异丙醇混合而成；

将预定量的所述混合液滴在所述定位基板的上表面形成液滴；

将超薄片轻轻放置在所述液滴上，使所述液滴在表面张力的作用下扩展成液膜均匀分布在所述定位基板与所述超薄片之间，以实现对所述超薄片的固定；其中，所述液膜的厚度为50nm～200nm。