[发明专利]用于极紫外光源的激光束传递设备

权利要求书

1.一种激光束传递设备，包括：

高功率种子模块，其被配置为生成激光束；

功率放大器，其被配置为放大由所述高功率种子模块生成的激光束，所述功率放大器包括被配置为调节所述激光束的位置的位置调节器，所述位置调节器包括折射板；

束传输模块，其被配置为收集和移动由所述功率放大器放大的激光束；

最终聚焦组装光学平台，其被配置为调节由所述束传输模块收集和移动的激光束的焦点；以及

聚焦单元，其被配置为采用由所述最终聚焦组装光学平台调节的焦点将所述激光束聚焦至目标微滴。

2.根据权利要求1所述的激光束传递设备，其中，所述折射板包括多边形石英。

3.根据权利要求1所述的激光束传递设备，其中，所述折射板包括圆形石英。

4.根据权利要求1所述的激光束传递设备，其中，所述功率放大器进一步包括：

第一放大器，其被配置为放大由所述高功率种子模块生成的激光束；

第二放大器，其被配置为放大由所述第一放大器放大的激光束；

第三放大器，其被配置为放大由所述第二放大器放大的激光束；以及

第四放大器，其被配置为放大由所述第三放大器放大的激光束。

5.根据权利要求4所述的激光束传递设备，其中，

所述第一放大器、所述第二放大器、所述第三放大器和所述第四放大器各自均包括第一层和第二层，

所述第一层包括第一放大镜、第二放大镜、第三放大镜和第四放大镜，并且

所述第二层包括第五放大镜、第六放大镜、第七放大镜和第八放大镜。

6.根据权利要求4所述的激光束传递设备，其中，所述位置调节器在所述第一放大器和所述第二放大器之间。

7.根据权利要求4所述的激光束传递设备，其中，所述位置调节器在所述第二放大器和所述第三放大器之间。

8.根据权利要求4所述的激光束传递设备，其中，所述位置调节器在所述第三放大器和所述第四放大器之间。

9.根据权利要求1所述的激光束传递设备，其中，

所述束传输模块包括前置束传输模块和主束传输模块；

所述前置束传输模块被配置为收集激光束，并且

所述主束传输模块被配置为移动由所述前置束传输模块收集的激光束。

10.根据权利要求1所述的激光束传递设备，其中，

所述最终聚焦组装光学平台包括指向调节器，所述指向调节器被配置为调节激光束的指向角；并且

所述指向调节器包括镜。

11.根据权利要求1所述的激光束传递设备，其中，所述折射板包括：

第一折射板，其被配置为围绕第一调节轴旋转；以及

第二折射板，其被配置为围绕与所述第一调节轴交叉的第二调节轴旋转。

12.根据权利要求11所述的激光束传递设备，其中，所述第一调节轴和所述第二调节轴彼此正交。

13.根据权利要求11所述的激光束传递设备，其中，

所述功率放大器进一步包括顺序串联布置的第一放大器、第二放大器、第三放大器和第四放大器；

所述第一折射板在所述第一放大器和所述第二放大器之间；并且

所述第二折射板在所述第二放大器和所述第三放大器之间。

14.根据权利要求11所述的激光束传递设备，其中，

所述折射板进一步包括第三折射板，所述第三折射板被配置为围绕第三调节轴旋转；并且

所述第三调节轴与所述第一调节轴和所述第二调节轴交叉。