[发明专利]MEMS陀螺仪

权利要求书

1.一种MEMS陀螺仪，包括环形结构、连接于所述环形结构的第一耦合结构、连接于所述第一耦合结构的远离所述环形结构端的质量块、与所述质量块相连的锚点、连接于相邻的所述质量块之间的第二耦合结构及连接于所述环形结构和所述质量块的换能组件，其特征在于，所述MEMS陀螺仪包括4N个绕所述环形结构的中心等角度排布且尺寸相同的所述质量块，N为大于等于2的整数；所述质量块呈扇形，且在不受外力的情况下所有质量块在所述环形结构内的区域形成镶嵌结构；所述质量块包括与第一耦合结构相连且内部或侧部开设有收容槽的主体及连接于所述主体且位于所述收容槽内的弹性结构，所述锚点设置于所述收容槽内且与所述弹性结构相连；所述环形结构包括同轴设置且自内而外依次间隔排布的若干环形件以及连接于相邻的所述环形件之间的辐条。

2.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述弹性结构包括容置于所述收容槽内且与所述主体间隔设置的运动解耦块、一端连接于所述运动解耦块且另一端连接于所述主体的第一梁结构、以及一端连接于所述运动解耦块且另一端连接于所述锚点的第二梁结构。

3.根据权利要求2所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述收容槽包括位于中部的主槽及自所述主槽朝一侧延伸形成的弹力槽，所述运动解耦块收容于所述主槽内，所述第一梁结构的中部具有伸入所述弹力槽内的第一弯曲结构。

4.根据权利要求2所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述锚点和所述收容槽的内壁之间形成弹性间隙，所述第二梁结构的中部具有伸入所述弹性间隙内的第二弯曲结构。

5.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述质量块的靠近所述环形结构侧的中部开设连接缺口，所述第一耦合结构包括一端连接于所述环形结构且另一端伸入所述连接缺口内的连接条、及一端连接于所述连接条且另一端连接于所述连接缺口的侧壁的第三梁结构。

6.根据权利要求5所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述连接条对称地连接有两所述第三梁结构，所述第三梁结构包括自所述连接条的远离所述环形结构端朝一侧延伸出的第一连接臂、自所述第一连接臂的一端朝所述环形结构弯曲延伸形成的弹性臂及自所述弹性臂一侧弯曲延伸并与所述连接缺口的侧壁相连的第二连接臂。

7.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述质量块的一侧开设耦合缺口，所述第二耦合结构包括容置于所述耦合缺口内的耦合梁及一端连接于所述耦合梁且另一端连接于所述耦合缺口的内壁的第四梁结构。

8.根据权利要求7所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述第四梁结构的中部具有第三弯曲结构。

9.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述质量块位于所述环形结构的内侧或外侧。

10.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述换能组件包括环绕设置于所述环形结构外侧的4N个第一换能器和设置于所述环形结构内侧且位于所述质量块上的第二换能器，所述第一换能器与所述第二换能器一一对应设置。

11.根据权利要求10所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述第一换能器包括电容换能器、电感换能器、热电换能器、压电换能器中的任意一种或任意多种的组合，所述第二换能器包括电容换能器、电感换能器、热电换能器、压电换能器中的任意一种或任意多种的组合。