[发明专利]用于立式炉的炉门组件和立式炉

权利要求书

1.一种用于立式炉的炉门组件，其特征在于，包括炉门本体和封装板，所述炉门本体具有用于密封立式炉工艺腔室开口的密封面和与所述密封面相对的散热面，所述散热面上形成有冷却液槽，所述封装板覆盖所述冷却液槽形成用于冷却液流通的通道，所述散热面上还形成有散热区域，所述散热区域位于所述冷却液槽之外的区域，用于增加所述散热面与空气的热交换面积。

2.根据权利要求1所述的炉门组件，其特征在于，所述冷却液槽包括内环形槽、连接槽和环绕所述内环形槽的外环形槽，所述内环形槽、所述外环形槽和所述炉门本体同心设置；所述内环形槽和所述外环形槽通过两个所述连接槽连通，所述外环形槽上设有第一隔断件，所述第一隔断件位于所述外环形槽与两条所述连接槽连接的位置之间。

3.根据权利要求2所述的炉门组件，其特征在于，所述外环形槽内还设有第二隔断件，所述封装板上设有进液接头和出液接头，所述进液接头和所述出液接头位于所述第二隔断件的两侧，且均与所述外环形槽相连通。

4.根据权利要求2或3所述的炉门组件，其特征在于，所述内环形槽、所述连接槽和所述外环形槽的槽宽均为25至35mm。

5.根据权利要求2所述的炉门组件，其特征在于，所述散热区域包括第一散热区域，所述第一散热区域环设于所述外环形槽围设的区域外。

6.根据权利要求5所述的炉门组件，其特征在于，所述散热区域还包括第二散热区域，所述第二散热区域设置于所述内环形槽围设的区域内。

7.根据权利要求6所述的炉门组件，其特征在于，所述第一散热区域和所述第二散热区域均包括多个直径不同且与所述炉门本体中心重合的环形凹槽。

8.根据权利要求7所述的炉门组件，其特征在于，所述第一散热区域和所述第二散热区域均包括三个直径不同的所述环形凹槽，且所述环形凹槽的槽宽为3至4mm。

9.根据权利要求1所述的炉门组件，其特征在于，所述散热区域还包括多组形成于所述散热面上的散热盲孔，每组所述散热盲孔沿圆周方向等间隔分布，且多组所述散热盲孔同心间隔设置。

10.根据权利要求9所述的炉门组件，其特征在于，所述散热盲孔的直径为8至12mm。

11.一种立式炉，其特征在于，包括工艺腔室和炉门组件，所述炉门组件为权利要求1至10中任意一项所述的炉门组件，所述炉门组件的密封面用于密封所述工艺腔室的开口。