[发明专利]集成电路印刷装置用清洁设备、集成电路印刷装置用清洁方法以及集成电路印刷装置

权利要求书

1.一种集成电路印刷装置用清洁设备，用于清洁集成电路印刷钢网，其特征在于，包括：

制动装置，所述制动装置包括可替换擦拭组件，其中当所述制动装置制动时，将所述可替换擦拭组件的第一擦拭单元替换为第二擦拭单元；

清洁液供应装置，邻近于所述制动装置设置，用于提供清洁液给所述可替换擦拭组件以擦拭所述集成电路印刷钢网；以及

抽气装置，邻近于所述制动装置设置，用于提供吸力以吸取所述集成电路印刷钢网上的所述清洁液。

2.如权利要求1所述的集成电路印刷装置用清洁设备，其特征在于，所述制动装置包含卷筒，用于收纳所述可替换擦拭组件的两端。

3.如权利要求1所述的集成电路印刷装置用清洁设备，其特征在于，所述制动装置包含承载盘，用于承载堆叠的所述可替换擦拭组件。

4.如权利要求1所述的集成电路印刷装置用清洁设备，其特征在于，所述清洁液供应装置包括

泵，所述泵用于抽取所述清洁液。

5.如权利要求1所述的集成电路印刷装置用清洁设备，其特征在于，所述清洁液供应装置还包括：

清洁头，包括多个清洁孔，所述多个清洁孔排列延伸的长度对应所述集成电路印刷钢网的开孔宽度，所述清洁液通过所述多个清洁孔提供给所述可替换擦拭组件。

6.如权利要求1所述的集成电路印刷装置用清洁设备，其特征在于，所述抽气装置的所述吸力大小在于-99千帕至-50千帕。

7.如权利要求1所述的集成电路印刷装置用清洁设备，其特征在于，所述抽气装置与所述制动装置平行设置。

8.如权利要求1所述的集成电路印刷装置用清洁设备，其特征在于，所述抽气装置环绕所述制动装置设置。

9.如权利要求1所述的集成电路印刷装置用清洁设备，其特征在于，还包括：

位移装置，用于支撑所述制动装置、所述清洁液供应装置以及所述抽气装置朝所述集成电路印刷钢网的方向运动。

10.一种集成电路印刷装置用清洁方法，用于清洁集成电路印刷钢网，其特征在于，包括：

控制泵以抽取清洁液；

通过清洁头将所述清洁液提供给可替换擦拭组件；

通过所述可替换擦拭组件擦拭所述集成电路印刷钢网；以及

开启抽气装置吸取所述集成电路印刷钢网上的所述清洁液。

11.如权利要求10所述的方法，其特征在于，所述泵、所述清洁头以及所述抽气装置整合于集成电路印刷装置用清洁设备中，所述方法还包括：

控制所述集成电路印刷装置用清洁设备朝向所述集成电路印刷钢网移动，并使得所述可替换擦拭组件接触所述集成电路印刷钢网。

12.如权利要求11所述的方法，其特征在于，还包括：

在所述集成电路印刷钢网上的所述清洁液由所述抽气装置吸取后，控制所述集成电路印刷装置用清洁设备远离所述集成电路印刷钢网。

13.如权利要求12所述的方法，其特征在于，所述可替换擦拭组件装设于制动装置中，所述方法还包括：

控制所述制动装置以将所述可替换擦拭组件的第一擦拭单元替换为第二擦拭单元。

14.一种集成电路印刷装置，其特征在于，包括如权利要求1-9中任一项所述的清洁设备，并进一步包括：

相机模组，用于捕捉所述集成电路印刷钢网的影像以确认半导体基板的作业位置；

治具模组，用于接收所述半导体基板；

轨道模组，用于运送所述治具模组至所述集成电路印刷钢网；以及

印刷模组，用于当所述治具模组将所述半导体基板合模所述集成电路印刷钢网时，对所述半导体基板进行印刷作业。