[发明专利]一种石英半球谐振子纳米制造方法

权利要求书

1.一种石英半球谐振子纳米制造方法，其特征在于以下步骤：

步骤1：半球陀螺直径根据不同加工直径的半球陀螺谐振子更换不同的球形磨头；球形磨头是金属基金刚石砂轮，直径为3-7mm，磨头直径大小和半球直径大小比值为1:10；

步骤2：采用轨迹法对半球陀螺谐振子进行磨削，粗磨时磨削深度为8-12μm，转速为20-40m/s，进给速度0.1-0.15mm/r，金刚石砂轮粒度为1500-3000#；

步骤3：超精密磨削时磨削深度为3-7μm，转速为20-40m/s，进给速度0.07-0.1mm/r，金刚石砂轮粒度为5000-8000#；

步骤4：化学机械抛光液的成分为硅溶胶、水和醋酸钠；用醋酸钠水溶液改变抛光液的酸碱性，使其成为弱碱性，PH值为9-10；

步骤5：采用激光干涉仪对加工工件进行成像，并同时获取加工工件的表面轮廓和圆度；

步骤6：用聚氨酯抛光布包裹着球形磨头，通过激光干涉仪观察获取加工零部件的圆度和表面轮廓，对不符合表面粗糙度和形位精度的地方进行化学机械抛光；

步骤7：采用限域的抛光方式，对不需要加工的区域用保护膜进行保护；

步骤8：同样采用限域加工方式，用离子束进行轮廓和表面粗糙度的修型，对不需要修型的区域用保护膜进行保护；离子束的束流为2-5kV，20-40pA。