[发明专利]一种测量系统及测量方法在审
| 申请号: | 202011301743.4 | 申请日: | 2020-11-19 |
| 公开(公告)号: | CN112556585A | 公开(公告)日: | 2021-03-26 |
| 发明(设计)人: | 陈鲁;白园园;马砚忠 | 申请(专利权)人: | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号: | G01B11/06 | 分类号: | G01B11/06 |
| 代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 赵晓荣 |
| 地址: | 518109 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 测量 系统 测量方法 | ||
1.一种测量系统,其特征在于,包括:
光纤激光器、第一光纤分束器、时间延迟器和探测器;
其中,所述光纤激光器用于产生脉冲光束;
所述第一光纤分束器用于将所述脉冲光束分为泵浦光和探测光;
所述时间延迟器用于使所述泵浦光和所述探测光之间的延迟时间可调;所述探测光和由所述时间延迟器出射的泵浦光入射至待测物;或者,所述泵浦光和由所述时间延迟器出射的探测光入射至所述待测物;所述泵浦光用于在所述待测物中形成声波;
所述探测器用于获取多个不同延迟时间下所述探测光经待测物反射形成的信号光,并根据所述信号光获取探测信息。
2.根据权利要求1所述的测量系统,其特征在于,所述时间延迟器为光纤型时间延迟器或非光纤型时间延迟器。
3.根据权利要求2所述的测量系统,其特征在于,当所述时间延迟器具体为所述非光纤型时间延迟器时,所述非光纤型时间延迟器包括:线性平台和反射组件;
所述线性平台承载所述反射组件并带动所述反射组件沿着第一方向或第二方向移动,所述第一方向与所述第二方向相反;
当所述反射组件沿着所述第一方向移动时,所述探测光相对于所述泵浦光的延迟时间线性减小;当所述反射组件沿着所述第二方向移动时,所述探测光相对于所述泵浦光的延迟时间线性增大。
4.根据权利要求3所述的测量系统,其特征在于,所述反射组件包括第一反射面和第二反射面,所述第一反射面和所述第二反射面之间具有非零夹角;所述探测光或所述泵浦光入射至所述第一反射面,并自所述第一反射面反射后到达所述第二反射面,并经所述第二反射面出射。
5.根据权利要求3所述的测量系统,其特征在于,所述非光纤型时间延迟器具体包括相对设置的第一反射组件和第二反射组件;其中,所述第一反射组件固定不动,所述第二反射组件在所述线性平台的带动下可沿所述第一方向和所述第二方向移动;
所述探测光或所述泵浦光用于在所述第一反射组件的反射面和所述第二反射组件的反射面之间反射;所述探测光或所述泵浦光从所述第一反射组件和所述第二反射组件之中的一个反射组件入射并从另一个反射组件出射。
6.根据权利要求2-5任一项所述的测量系统,其特征在于,当所述时间延迟器具体为所述非光纤型时间延迟器时,所述系统还包括:第一光纤准直器,所述第一光纤准直器设置在所述第一光纤分束器的任一输出端口与所述非光纤型时间延迟器之间;
所述第一光纤准直器,用于将所述第一光纤分束器分出的所述泵浦光准直为平行光后提供给所述非光纤型时间延迟器,或者,用于将所述第一光纤分束器分出的所述探测光平行后提供给所述非光纤型时间延迟器。
7.根据权利要求6所述的测量系统,其特征在于,还包括:位于所述非光纤型时间延迟器与所述待测物之间的第二光纤准直器、第三光纤准直器和第一组透镜,所述第二光纤准直器与所述第三光纤准直器之间通过光纤连接;由所述时间延迟器出射的泵浦光或探测光经过所述第二光纤准直器进入光纤,由光纤传输至所述第三光纤准直器;
所述第三光纤准直器用于将所连接的光纤传输的探测光准直为平行光;
所述第一组透镜用于将所述第三光纤准直器出射的平行光会聚至所述待测物的表面上。
8.根据权利要求1-5、7中任一项所述的测量系统,其特征在于,还包括:时间差分系统;所述时间差分系统设置在所述泵浦光的传输光路上;
所述时间差分系统,用于对所述泵浦光进行时间差分处理得到两个相互具有固定延时的泵浦光脉冲序列,并对所述两个相互具有固定延时的泵浦光脉冲序列进行合成,得到合成后的泵浦光。
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