[发明专利]一种半导体单晶炉中炉筒升降旋转装置

权利要求书

1.一种半导体单晶炉中炉筒升降旋转装置，包括底板（4），其特征在于，所述底板（4）的顶部外壁通过轴承连接有转杆，所述转杆的顶端外壁通过螺栓固定有转板（19），所述转板（19）顶部外壁的两侧均通过螺栓固定有滑竿（13），所述滑竿（13）的外壁滑动连接有第二滑套（18），所述第二滑套（18）的外壁通过螺栓固定有升降杆（20），所述升降杆（20）的顶端外壁通过螺栓固定有滑块，所述底板（4）的一边外壁通过螺栓固定有固定板（3），所述固定板（3）的顶部外壁开有插接孔，所述插接孔的内壁插接有伸缩板（11），所述伸缩板（11）的底部外壁通过轴承连接有升降板（10），所述升降板（10）的底部外壁开有第一滑槽，所述第一滑槽的内壁通过螺栓固定有第一滑轨（17），所述滑块的外壁与第一滑轨（17）的内壁形成滑动配合，所述转板（19）的两侧外壁均通过螺栓固定有侧板（9），所述侧板（9）的一侧外壁通过螺栓固定有电动伸缩杆（2），所述升降板（10）的一边外壁设置有中炉筒固定机构，所述底板（4）的顶部外壁设置有旋转机构，所述电动伸缩杆（2）活塞杆的一端通过螺栓固定有第一滑套（1），且第一滑套（1）的内壁与升降杆（20）的外壁形成滑动配，所述中炉筒固定机构包括顶板（8）和中炉筒本体（6），顶板（8）的底部外壁通过螺栓固定有挂板（7），且挂板的顶部外壁开有等距离分布的插接孔，插接孔的内壁插接有固定扣（14），固定扣（14）的外壁套接有伸缩弹簧（16），所述中炉筒本体（6）的顶部外壁通过螺栓固定有连接板（15），且连接板（15）和中炉筒本体（6）之间形成卡接槽，卡接槽的内壁和固定扣（14）的外壁配合使用，所述滑竿（13）的顶端外壁通过螺栓固定有挡板（12），且挡板（12）和升降板（10）配合使用。

2.根据权利要求1所述的一种半导体单晶炉中炉筒升降旋转装置，其特征在于，所述旋转机构包括竖板，竖板的一侧外壁通过螺栓固定有电机（22），且电机（22）的输出轴通过联轴器连接有主动齿轮（21）。

3.根据权利要求1所述的一种半导体单晶炉中炉筒升降旋转装置，其特征在于，所述转杆的外壁通过螺栓固定有从动齿轮（5），且主动齿轮（21）和从动齿轮（5）相啮合。

4.根据权利要求1所述的一种半导体单晶炉中炉筒升降旋转装置，其特征在于，所述底板（4）的顶部外壁开有环形滑槽，且环形滑槽的内壁通过螺栓固定有环形滑轨（24），转杆的两边外壁与底部外壁的两侧均通过螺栓固定有安装杆（23），安装杆（23）的一端通过螺栓固定有万向轮（25），万向轮（25）的外壁与环形滑轨（24）的内壁形成滑动配合。