[发明专利]一种硅片吸附吸盘变间距组件

权利要求书

1.一种硅片吸附吸盘变间距组件，其特征在于：包括两组间距调整块(10)、组件安装板(2)及调节部件，每组所述间距调整块(10)一一对应设置，相互对应的两个所述间距调整块(10)之间设置有连杆(4)，同组相邻两个所述间距调整块(10)之间设置有互联装置，同组所述间距调整块(10)之间贯穿有导向轴(12)，所述间距调整块(10)位于所述组件安装板(2)厚度方向其中一侧，每一所述间距调整块(10)上分别固定有一吸盘(5)，所述调节部件设置有两个，两个所述调节部件分别用于对两组间距调整块(10)位置进行调节。

2.根据权利要求1所述的一种硅片吸附吸盘变间距组件，其特征在于：两个所述调节部件为相互平行设置的两个气缸(1)，所述气缸(1)上的活塞杆贯穿所述组件安装板(2)并固定在每组所述间距调整块(10)指向所述组件安装板(2)的一个，两个所述气缸(1)分别位于所述气缸(1)安装板的两侧并固定在所述气缸(1)安装板上。

3.根据权利要求2所述的一种硅片吸附吸盘变间距组件，其特征在于：所述间距调整块(10)上设置有吸盘(5)安装座，所述吸盘(5)安装座用于固定吸盘(5)。

4.根据权利要求3所述的一种硅片吸附吸盘变间距组件，其特征在于：所述间距调整块(10)上设置有供所述导向轴(12)贯穿的定位槽(10.2)，所述定位槽(10.2)贯穿所述间距调整块(10)设置，并且，所述定位槽(10.2)内设置有衬套(14)。

5.根据权利要求4所述的一种硅片吸附吸盘变间距组件，其特征在于：所述间距调整块(10)上还设置有固定孔(10.4)，所述互联装置为贯穿所述固定孔(10.4)的拉杆(15)，所述拉杆(15)包括固定轴(15.3)及位于所述固定轴(15.3)其中一端的台阶部(15.2)，所述台阶部(15.2)与所述间距调整块(10)相互贴合设置，所述固定轴(15.3)贯穿所述间距调整块(10)并指向相邻所述间距调整块(10)，所述固定轴(15.3)上设置有螺纹孔(15.1)，所述固定轴(15.3)通经过螺纹孔(15.1)与相邻所述间距调整块(10)固定设置。