[发明专利]一种基于P型硅片的太阳能电池片及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202011279813.0 申请日: 2020-11-16
公开(公告)号: CN112420855A 公开(公告)日: 2021-02-26
发明(设计)人: 张树德;魏青竹;刘玉申;况亚伟;赵保星;缪乾;符欣;连维飞;倪志春 申请(专利权)人: 苏州腾晖光伏技术有限公司;常熟理工学院
主分类号: H01L31/0224 分类号: H01L31/0224;H01L31/068;H01L31/18
代理公司: 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 代理人: 李萍
地址: 215500 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 硅片 太阳能电池 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种基于P型硅片的太阳能电池片,包括P型硅片、形成于所述P型硅片正面的正面介质层、位于所述正面介质层上的正面电极、形成于所述P型硅片背面的背面介质层及位于所述背面介质层上的背面电极,其特征在于:所述P型硅片的局部掺杂铝而具有铝掺杂区域,所述正面电极包括铝层及形成于所述铝层之上的银层,所述铝层形成于所述铝掺杂区域上。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池片,其特征在于:所述正面电极为栅线状。

3.根据权利要求1所述的太阳能电池片,其特征在于:所述正面介质层包括形成于所述P型硅片正面上的钝化层及层叠于所述钝化层上的减反层。

4.根据权利要求1所述的太阳能电池片,其特征在于:所述P型硅片的背面形成有隧穿氧化层,所述隧穿氧化层上层叠有N型多晶硅层,所述背面介质层层叠于所述N型多晶硅层上。

5.根据权利要求4所述的太阳能电池片,其特征在于:所述背面电极为栅线状银电极,所述栅线状银电极穿过所述背面介质层而和所述N型多晶硅层形成金属接触。

6.根据权利要求1所述的太阳能电池片,其特征在于:所述背面介质层为氮化硅保护层。

7.一种如权利要求1-6任一项所述的基于P型硅片的太阳能电池片的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:

A、提供P型硅片;

B、在P型硅片的背面制备隧穿氧化层和本征多晶硅层;

C、磷扩散形成N型多晶硅层;

D、刻蚀去除硅片正面和边缘的磷硅玻璃、PN结和多晶硅;

E、正面制绒;

F、去除背面磷硅玻璃;

G、在硅片正面制备正面介质层;

H、在硅片背面制备背面介质层;

I、制备背面电极;在正面先印刷铝浆,烘干后再印刷银浆,烘干,烧结。

8.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于:所述步骤B中,采用热氧化或化学氧化制备所述隧穿氧化层,采用LPCVD、PECVD或PCD制备所述本征多晶硅层。

9.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于:所述步骤I中,在背面印刷栅线状银浆,烘干,烧结后背面银浆烧穿所述背面介质层而和所述N型多晶硅层形成金属接触。

10.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于:所述步骤I中,正面印刷栅线状的铝浆,烘干,然后正面印刷栅线状银浆并与铝浆对准,烘干,烧结后,正面铝浆烧穿所述正面介质层并在P型硅片上形成铝掺杂区域,铝与铝掺杂区域形成金属接触。

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