[发明专利]用于测试和测量探针的热管理系统

权利要求书

1.一种用于测试和测量探针的热管理系统，所述热管理系统包括：

绝热护罩，所述绝热护罩被配置成将测试和测量探针的探针头的第一部分封闭在所述护罩的内腔内，同时允许所述探针头的第二部分延伸出所述护罩，所述护罩的所述内腔通过所述护罩的进入部分与所述护罩外部的区域连通，所述护罩还包括流体出口通道，所述流体出口通道被配置成允许传热流体从所述内腔的探针头端部穿过所述护罩的所述内腔，并且穿过所述护罩的所述进入部分离开所述护罩；以及

流体入口导管，所述流体入口导管通过所述护罩的所述进入部分进入所述护罩，延伸穿过所述护罩的所述内腔，并且被配置成将所述传热流体引入到所述内腔的所述探针头端部。

2.根据权利要求1所述的热管理系统，其还包括流体供应系统，所述流体供应系统被配置成将所述传热流体引入到所述流体入口。

3.根据权利要求2所述的热管理系统，还包括将所述流体出口通道连接到所述流体供应系统的返回侧的流体出口导管。

4.根据权利要求2所述的热管理系统，其中，所述流体供应系统包括涡流管。

5.根据权利要求4所述的热管理系统，其中，所述流体入口导管联接到所述涡流管的冷出口。

6.根据权利要求4所述的热管理系统，其中，所述流体入口导管联接到所述涡流管的热出口。

7.根据权利要求2所述的热管理系统，其中，所述流体供应系统包括热电冷却器。

8.根据权利要求2所述的热管理系统，其中，所述流体供应系统包括热电加热器。

9.根据权利要求1所述的热管理系统，还包括温度感测装置，所述温度感测装置被配置为感测所述护罩的所述内腔的所述探针头端部处的温度。

10.根据权利要求9所述的热管理系统，还包括温度控制器，所述温度控制器被配置为从所述温度感测装置接收感测到的温度的指示，并且响应于所述感测到的温度的指示来调节所述传热流体的温度或所述传热流体的流率中的一个或两个。

11.根据权利要求1所述的热管理系统，还包括在所述护罩的所述内腔的所述探针头端部处的转向器，所述转向器被配置为将所述传热流体的流动方向从进入方向改变为流出方向。

12.根据权利要求11所述的热管理系统，其中，所述流体入口导管终止于所述转向器内。

13.根据权利要求1所述的热管理系统，其中，所述护罩是基本上柔性的，并且被配置为围绕所述探针头的所述第一部分缠绕。

14.一种管理测试和测量探针的探针头的温度的方法，所述方法包括：

将测试和测量探针的探针头的第一部分封闭在绝热护罩的内腔内，同时允许所述探针头的第二部分延伸出所述护罩；以及

通过将所述护罩内的传热流体施加到所述探针头的所述第一部分来管理所述探针头的温度。

15.根据权利要求14所述的方法，其中，通过将所述护罩内的所述传热流体施加到所述探针头的所述第一部分来管理所述探针头的温度还包括：

通过流体入口导管将所述传热流体引入到所述内腔的所述探针头端部，所述流体入口导管通过所述护罩的进入部分进入所述护罩并且延伸穿过所述护罩的所述内腔；以及

经由流体出口通道使所述传热流体从所述内腔的所述探针头端部穿过所述护罩的所述内腔，并且穿过所述护罩的所述进入部分离开所述护罩。

16.根据权利要求14所述的方法，还包括：在将所述传热流体施加到所述探针头的所述第一部分之后，将所述传热流体施加到从所述探针头延伸的探针电缆。