[发明专利]一种基于锡模板的粗化方法有效
| 申请号: | 202011270645.9 | 申请日: | 2020-11-13 |
| 公开(公告)号: | CN112566373B | 公开(公告)日: | 2022-11-04 |
| 发明(设计)人: | 崔子雅;胡光辉;郑沛峰;王斌;潘湛昌 | 申请(专利权)人: | 广东工业大学 |
| 主分类号: | H05K3/00 | 分类号: | H05K3/00;C23C18/31;C23F1/34 |
| 代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人: | 陈嘉毅 |
| 地址: | 510090 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 基于 模板 方法 | ||
1.一种基于锡模板的粗化方法,其特征在于,处理过程包括以下步骤:
S1.生成模板:将清洁后的铜片置于化学镀锡溶液中进行浸泡处理,得到含有锡模板层的铜片;所述浸泡处理的温度为30~60℃,浸泡处理时间为5~180s;
S2.粗化处理:将步骤S1处理后的样品浸入碱性粗化液中进行粗化处理;粗化处理温度为30~60℃,粗化处理时间为10~300s;
S3.去除模板:经过步骤S2粗化作用后的样品放入褪除液中,进行去除模板处理,得到粗化的铜表面;室温下去除模板的时间为30~90s。
2.如权利要求1所述基于锡模板的粗化方法,其特征在于,步骤S1中的所述化学镀锡溶液的成分包括锡源、硫酸、硫脲、稳定剂、还原剂和表面活性剂。
3.如权利要求2所述基于锡模板的粗化方法,其特征在于,步骤S1中的所述化学镀锡溶液中锡源、硫酸、硫脲、稳定剂、还原剂和表面活性剂的质量比为0.1~10:1~30:0.1~20:0.01~10:0.01~10:0.01~0.2。
4.如权利要求3所述基于锡模板的粗化方法,其特征在于,所述锡源为硫酸亚锡、氯化亚锡或焦磷酸亚锡中一种。
5.如权利要求3所述基于锡模板的粗化方法,其特征在于,所述表面活性剂为十二烷基磺酸钠、十二烷基苯磺酸钠、聚乙二醇或OP-10中一种。
6.如权利要求3所述基于锡模板的粗化方法,其特征在于,所述还原剂为次磷酸钾、次磷酸钠、次磷酸铵、甲酸钠、葡萄糖酸、柠檬酸或抗坏血酸中一种。
7.如权利要求1所述基于锡模板的粗化方法,其特征在于,所述步骤S2中的碱性粗化液包括氯化铵、二水合氯化铜、过氧化氢、氨水。
8.如权利要求7所述基于锡模板的粗化方法,其特征在于,所述氯化铵、二水合氯化铜、过氧化氢、氨水的质量比为1~30:1~20:0.1~5:1~20。
9.如权利要求1所述基于锡模板的粗化方法,其特征在于,所述步骤S3中褪除液的包括硫酸、硫酸铁、硫酸亚铁铵、缓蚀剂、过氧化氢、表面活性剂。
10.如权利要求9所述基于锡模板的粗化方法,其特征在于,所述硫酸、硫酸铁、硫酸亚铁铵、缓蚀剂、过氧化氢、表面活性剂的质量比为1~25:1~15:0.01~5:0.01~5:0.01~10:0.1~5。
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