[发明专利]一种阴极磁过滤真空镀膜设备

权利要求书

1.一种阴极磁过滤真空镀膜设备，包括安装机台(1)，其特征在于，所述安装机台(1)底端设有阴极磁过滤系统(2)，所述阴极磁过滤系统(2)内设有真空腔体(3)、阴极磁控系统(4)、蒸镀系统(9)、电源系统(10)和真空泵组(5)、加热器(7)以及加热管转架组件(6)，所述阴极磁过滤系统(2)是由弯管(21)、导流线圈(22)、阴极靶(24)、引弧针(25)以及等离子体档板(23)构成，所述弯管内部有数百个特殊的ф3-5mm凹坑结构(26)，所述弯管(21)内部设有多个内部倒钩结构(27)，所述等离子档板(23)是一种绝缘陶瓷材料构成的档板，所述等离子档板(23)一端中间区域开设有镂空结构(28)，所述镂空结构(28)规格ф45mm-ф100mm，所述镂空结构(28)的镂空范围可根据工艺需求变化，所述等离子档板(23)边缘区域存在多个呈圆周阵列分布的螺丝孔(29)，所述等离子档板(23)可通过螺丝孔(29)将其固定在弯管(21)内等离子体出口位置。

2.根据权利要求1所述的一种阴极磁过滤真空镀膜设备，其特征在于，所述加热器(7)上开设有散热槽(8)。

3.根据权利要求1所述的一种阴极磁过滤真空镀膜设备，其特征在于，所述真空腔体(3)是由腔体(31)、转架(32)、加热管(33)和气体流管(34)组成，所述转架(32)设置在腔体(31)上方，所述加热管(33)和气体流管(34)均设置为两组，所述加热管(33)和气体流管(34)均连通在腔体(31)外侧，所述阴极磁控系统(4)是包含阴极溅射靶源(41)、可控遮挡门板(42)和磁控溅射直流电源(43)；蒸镀系统(9)是包括蒸镀电源、电阻丝、药池和蒸镀材料。