[发明专利]一种集成电路用单晶硅片边缘倒角装置

权利要求书

1.一种集成电路用单晶硅片边缘倒角装置，包括基座(13)，其特征在于，所述基座(13)的顶部外壁通过螺钉固定有支撑柱(16)，且支撑柱(16)的顶部外壁设置有放置板(12)，所述放置板(12)的顶部外壁设置有橡胶板(15)，所述基座(13)顶部外壁的两侧通过螺钉固定有同一个龙门架(4)，且龙门架(4)的顶部内壁通过螺钉固定有电动伸缩杆(6)，所述电动伸缩杆(6)活塞杆的一端通过螺钉固定有集尘箱(5)，且集尘箱(5)的两侧内壁均通过螺钉固定有吸尘泵(7)，所述吸尘泵(7)的输入端套接有吸尘管，且吸尘管远离吸尘泵(7)的一端套接有吸尘头(9)，所述支撑柱(16)的两侧外壁均设置有水平设置的收集盘(14)。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路用单晶硅片边缘倒角装置，其特征在于，所述龙门架(4)的两侧内壁均开设有凹槽，且凹槽的顶部外壁设置有马达(3)，马达(3)的输出轴通过联轴器连接有丝杆(2)。

3.根据权利要求2所述的一种集成电路用单晶硅片边缘倒角装置，其特征在于，所述丝杆(2)的外壁套接有滑块(1)，且滑块(1)与凹槽的内壁形成滑动配合，滑块(1)的一侧外壁设置有倒角机构。

4.根据权利要求3所述的一种集成电路用单晶硅片边缘倒角装置，其特征在于，所述倒角机构包括电动推杆(21)，且电动推杆(21)活塞杆的一端设置有连接柱，连接柱的外壁铰接有固定块(20)，固定块(20)的外壁开设有固定槽，固定槽的内壁设置有电动机(18)，电动机(18)的输出轴通过联轴器连接有倒角盘(19)。

5.根据权利要求4所述的一种集成电路用单晶硅片边缘倒角装置，其特征在于，所述连接柱的顶部外壁铰接有电动推杆(21)，且电动推杆(21)活塞杆的一端铰接有连接板(17)，连接板(17)的底端与固定块(20)的顶部外壁相连接。

6.根据权利要求1-5任一所述的一种集成电路用单晶硅片边缘倒角装置，其特征在于，所述龙门架(4)顶部内壁的边角处均通过螺钉固定有灯板，且灯板的底部外壁通过螺钉固定有灯槽，灯槽的内壁设置有照明灯(8)。