[发明专利]一种模拟像增强器近贴距离参数的测试装置及方法

权利要求书

1.一种模拟像增强器近贴距离的参数测试装置，其特征在于，该装置包含：

真空腔体(16)；

设置在所述真空腔体(16)内部的阴极输入窗(2)、阴极装配环(4)、导向柱(5)、阳极装配环(6)、管壳(7)、导向筒(8)、观察窗(9)、内置环形磁铁(12)、旋转筒(13)、微通道板(14)及阳极输出窗(15)；

设置在所述真空腔体(16)外部的紫外光源(1)、外置环形磁铁(3)、耦合成像镜头(10)及CCD(11)；

所述阴极装配环(4)的电学接触面与阴极输入窗(2)边缘的膜层封接面相连，阴极装配环(4)的装配定位面有螺纹孔，导向柱(5)穿过导向筒(8)的直槽(M)与阴极装配环(4)连为一体，旋转筒(13)套入导向筒(8)外圆柱面，使导向柱(5)插入旋转筒(13)内表面的螺旋槽(N)中，再装上内置环形磁铁(12)后，装入真空腔体(16)内的上部；

所述外置环形磁铁(3)在磁铁吸附力的作用下，带动旋转筒(13)旋转，并带动导向柱(5)沿导向筒(8)的直槽(M)上下垂直移动，使阴极输入窗(2)、阴极装配环(4)也产生上下垂直移动；

微通道板(14)通过弹簧压圈安装在管壳(7)的第一金属环(7a)与第二金属环(7c)之间，管壳(7)通过支架固定在真空腔体(16)内部，管壳(7)与微通道板(14)在真空腔体(16)内位置固定不动；

所述阳极装配环(6)的装配定位面设置有螺纹孔，导向柱(5)穿过导向筒(8)的直槽(M)与阳极装配环(6)连为一体，旋转旋入筒(13)套入导向筒(8)外圆柱面，使导向柱(5)插入旋转筒(13)内表面的螺旋槽(N)中，再装上内置环形磁铁(12)后，装入真空腔体(16)内的下部；

所述外置环形磁铁(3)，在磁铁吸附力的作用下，带动旋转筒(13)旋转，带动导向柱(5)沿导向筒(8)的直槽(M)上下垂直移动，使阳极输出窗(15)、阳极装配环(6)也产生上下垂直移动；

所述真空腔体(16)的底部设计了一个观察窗(9)，位置正对着阳极输出窗(15)，观察窗(9)与耦合成像镜头(10)通过夹具相连接，镜头末端与CCD(11)相连接，通过观察CCD(11)在显示器上阴极输入窗(2)所成的分辨力图案的像。

2.根据权利要求1所述的模拟像增强器近贴距离的参数测试装置，其特征在于：

所述外置环形磁铁(3)的旋转角度与阴极输入窗(2)上下垂直移动距离相对应，在真空腔体(16)外部标定好外置环形磁铁(3)的旋转角度刻度，读取外置环形磁铁(3)旋转的角度值，就可以得到阴极输入窗(2)与微通道板(14)之间的近贴距离数值。

3.根据权利要求2所述的模拟像增强器近贴距离的参数测试装置，其特征在于：

所述外置环形磁铁(3)的旋转角度与阳极输出窗(15)上下垂直移动距离相对应，在真空腔体(16)外部标定好外置环形磁铁(3)的旋转角度刻度，读取外置环形磁铁(3)旋转的角度值，就可以得到阳极输出窗(15)与微通道板(14)之间的近贴距离数值。

4.根据权利要求3所述的模拟像增强器近贴距离的参数测试装置，其特征在于：

所述阴极输入窗(2)是在石英玻璃窗的基底上镀制100nm～200nm厚的铬膜，用光刻、腐蚀的方法在隔膜上做出具有分辨力线对图案，最后在图案区域上面镀制8nm～10nm厚的(Au)金膜作为阴极材料，阴极输入窗(2)上的光电阴极为金阴极。

5.根据权利要求4所述的模拟像增强器近贴距离的参数测试装置，其特征在于：

所述阴极装配环(4)的电学接触面与阴极输入窗(2)边缘对照Ni-Cr金属膜层的膜层封接面通过导电胶相连。

6.根据权利要求5所述的模拟像增强器近贴距离的参数测试装置，其特征在于：

所述管壳(7)为圆形，是由第一金属环(7a)、第二金属环(7c)、与第一陶瓷环(7b)、第二陶瓷环(7d)钎焊而成的筒状外壳，管壳(7)通过支架固定在真空腔体(16)内部，位置固定不动。