[发明专利]新型银合金键合丝及其制造方法在审
| 申请号： | 202011247760.4 | 申请日： | 2020-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN112342426A | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 周振基;周博轩;王俊智;于锋波;彭政展;石逸武;郭骅德 | 申请（专利权）人： | 汕头市骏码凯撒有限公司 |
| 主分类号： | C22C5/06 | 分类号： | C22C5/06;C22C1/02;B22D11/00;C22F1/02;C22F1/14;C21D1/26;C21D1/74;C21D9/52;H01L23/49;H01L21/48 |
| 代理公司： | 汕头市潮睿专利事务有限公司 44230 | 代理人： | 林天普;朱明华 |
| 地址： | 515065 广东省汕*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 新型 合金 键合丝 及其 制造 方法 | ||
1.一种新型银合金键合丝，其特征在于按重量计含有Au 5-9%，Pd 0-3%，Pt 1-3%，微量添加元素20-5000ppm，余量为Ag；所述微量添加元素是Ca、Ni、Cu、Cr、Ti 和La+Y中的两种以上的组合。
2.根据权利要求1所述的新型银合金键合丝，其特征是：所述新型银合金键合丝中Ag的重量百分比含量为87-92%。
3.根据权利要求1所述的新型银合金键合丝，其特征是：所述微量添加元素的组成为Cu50-4960ppm、Ni 20-100ppm、Cr 20-100ppm。
4.根据权利要求1所述的新型银合金键合丝，其特征是：所述微量添加元素的组成为Cu500-3000ppm、Ca 50-100ppm、Ni 20-50ppm。
5.根据权利要求1所述的新型银合金键合丝，其特征是：所述微量添加元素的组成为Cu20-500ppm、La+Y 20-100ppm。
6.根据权利要求1所述的新型银合金键合丝，其特征是：所述微量添加元素的组成为Ca50-200ppm、Ti 20-50ppm。
7.根据权利要求1所述的新型银合金键合丝，其特征是：所述新型银合金键合丝的直径为15-30μm。
8.权利要求1所述的新型银合金键合丝的制造方法，其特征在于包括下述步骤：
（1）熔铸：按比例将微量添加元素加入到银原料中预熔后，再按比例将Au、Pd、Pt加入其中熔炼，经过真空熔炼和定向连续引铸工艺，获得直径为6-8毫米的线材；
（2）拉丝：对步骤（1）得到的线材进行拉丝，获得直径为40-100μm的银合金线；
（3）中间退火：步骤（2）拉丝完成后，对银合金线进行中间退火，在退火过程中采用N2来做为退火气氛，退火炉有效长度为600-1500mm，退火温度为400-600℃，退火速率为30-90m/min；
（4）对经步骤（3）中间退火处理的银合金线继续进行拉丝，获得直径为15-30μm的银合金线；
（5）最后退火：对步骤（4）得到的银合金线进行最后退火，在退火过程中采用N2或者氮氢混合气体来做为退火气氛，退火炉有效长度为600-1000mm，退火温度为300-500℃，退火速率为60-100m/min；
按体积计，所述氮氢混合气体由5%的H2和95% 的N2组成；
（6）冷却：最后退火结束后，将银合金线冷却至20-30℃，得到所需的新型银合金键合丝。
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