[发明专利]一种微元件的转移装置及其方法

说明书

本发明提供了一种微元件的转移装置及其方法，包括：暂态基板，所述暂态基板的一侧间隔设置有多个元件放置部，各个所述元件放置部设置有用于放置待转移的微元件的记忆合金夹持部件，所述记忆合金夹持部件在第一温度条件下收缩，在第二温度条件下扩张；温度控制单元，使得所述记忆合金夹持部件的温度在第一温度条件和第二温度条件之间变换；当处于第一温度条件时，所述记忆合金夹持部件收缩并夹持所述微元件，当处于第二温度条件时，所述记忆合金夹持部件扩张并控制放置在其一侧的所述微元件远离所述暂态基板。通过温度控制单元控制暂态基板上多个记忆合金夹持部件的温度，控制记忆合金夹持部件的收缩或者扩张，以实现精准且高效的巨量转移。

技术领域

本发明涉及Micro-LED显示技术领域，涉及一种微元件的转移装置，同时，还涉及一种Micro-LED巨量转移方法。

背景技术

Micro-LED作为新一代显示技术相比传统的液晶显示技术，相比起传统的发光二极管，具有亮度更高、发光效率更好、色彩还原力更强和功耗更低等优势，因而备受业界青睐。在Micro-LED的制造过程中，需要把数量众多的微元件从原始的生长基板上转移到接收基板上，并在接收基板上按照既定规则排列形成显示阵列，故而在本领域中，如何实现Micro-LED的巨量转移，是限制Micro-LED发展的瓶颈之一。业界亟需提出一种巨量转移方案，以精准地对数量众多的Micro-LED进行转移。

发明内容

本发明要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种微元件的转移装置及其方法，能够选择性地拾取微元件，便于降低巨量转移难度，提高产品良率，实现精准且高效的巨量转移。

本发明解决技术问题所采用的技术方案如下：

一种微元件的转移装置，包括：

暂态基板，所述暂态基板的一侧间隔设置有多个元件放置部，各个所述元件放置部设置有用于放置待转移的微元件的记忆合金夹持部件，所述记忆合金夹持部件在第一温度条件下收缩，在第二温度条件下扩张；

温度控制单元，设置在所述暂态基板远离所述元件放置部的一侧，用于控制所述记忆合金夹持部件的温度，使得所述记忆合金夹持部件的温度在第一温度条件和第二温度条件之间变换；当处于第一温度条件时，所述记忆合金夹持部件收缩并夹持所述微元件，当处于第二温度条件时，所述记忆合金夹持部件扩张并控制放置在其一侧的所述微元件远离所述暂态基板。

本技术方案通过温度控制单元控制暂态基板上多个记忆合金夹持部件的温度，控制记忆合金夹持部件的收缩或者扩张，以将微元件转移至暂态基板上，再将暂态基板上的微元件有选择地转移出去，从而实现精准且高效的巨量转移。

可选地，所述记忆合金夹持部件至少包括一组夹持组件，所述夹持组件用于夹持固定所述微元件的至少一组对边。

如此，在记忆合金夹持部件上设置至少一组夹持组件，通过夹持组件夹持固定微元件的一组对边，从而更好地将微元件固定于暂态基板上。可选地，一组所述夹持组件至少包括两个用于放置所述微元件的夹持结构；

所述夹持结构包括顶起臂和侧面支撑臂，所述顶起臂的一端与所述侧面支撑臂的一端连接，所述顶起臂的另一端设置在所述暂态基板的一侧；

在所述第一温度条件下，所述夹持结构收缩，设置在所述夹持结构的一侧的所述微元件与所述暂态基板的间距为第一间距；

在所述第二温度条件下，所述夹持结构扩张，设置在所述夹持结构的一侧的所述微元件与所述暂态基板的间距为第二间距；

所述第二间距大于所述第一间距。

如此，夹持结构包括顶起臂和侧面支撑臂，顶起臂的作用在于顶起微元件，而侧面支撑臂的作用在于从微元件的侧面对其进行限位固定，通过夹持结构在不同温度条件下的收缩或者扩张，从而将微元件固定在暂态基板上或者抬离暂态基板。