[发明专利]基于超透镜的激光器和硅光芯片耦合结构在审
| 申请号： | 202011201584.0 | 申请日： | 2020-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN112305689A | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 周林杰;王宁宁;陆梁军;陈建平;刘娇 | 申请（专利权）人： | 上海交大平湖智能光电研究院;上海交通大学 |
| 主分类号： | G02B6/42 | 分类号： | G02B6/42 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 透镜 激光器 芯片 耦合 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于超透镜的激光器和硅光芯片耦合结构，其特征在于：包括激光器(101)、隔离器(201)和硅光芯片(301)，所述的隔离器(201)的两侧表面分别集成准直超透镜(202)和耦合超透镜(203)，所述的准直超透镜(202)、所述耦合超透镜(203)和所述隔离器(201)共光轴，沿所述的激光器(101)的激光输出方向依次是所述的准直超透镜(202)、隔离器(201)、耦合超透镜(203)和硅光芯片(301)。
2.根据权利要求1所述的基于超透镜的激光器和硅光芯片耦合结构，其特征在于：所述准直超透镜(202)和耦合超透镜(203)为通过硅沉积和硅刻蚀工艺直接在隔离器(201)两侧表面形成的亚波长结构。
3.根据权利要求1所述的基于超透镜的激光器和硅光芯片耦合结构，其特征在于：所述准直超透镜(202)和耦合超透镜(203)的微纳结构，分别与激光器波导和硅光波导数值孔径相匹配，以最大化激光和硅光波导的耦合效率。
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